CIQTEK SEM5000X ist ein ultrahochauflösendes Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop (FE-SEM) mit einer bahnbrechenden Auflösung von 0,6 nm bei 15 kV und 1,0 nm bei 1 kV.
Dank des verbesserten Säulenentwicklungsprozesses, der „SuperTunnel“-Technologie und des hochauflösenden Objektivlinsendesigns kann SEM5000X weitere Verbesserungen bei der Auflösung der Niederspannungsbildgebung erzielen. Die Probenkammeranschlüsse sind auf 16 erweitert, und die Probenwechsel-Ladeschleuse unterstützt bis zu 8-Zoll-Wafergrößen (maximaler Durchmesser 208 mm), was die Anwendungsmöglichkeiten erheblich erweitert. Abdeckung. Die erweiterten Scanmodi und erweiterten automatisierten Funktionen sorgen für eine stärkere Leistung und ein noch optimierteres Erlebnis.
(*Optionales Zubehör)
Schlüsselparameter | Auflösung | 0,6 nm bei 15 kV, SE 1,0 nm bei 1 kV, SE |
Beschleunigungsspannung | 20 V ~ 30 kV | |
Vergrößerung | 1 ~ 2.500.000 x | |
Elektronenkanonentyp | Schottky-Feldemissions-Elektronenkanone | |
Probenkammer |
Vakuumsystem
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Vollautomatische Steuerung |
Kameras | Dual-Kameras (optische Navigation + Kammermonitor) | |
Bühnentyp | 5-Achsen-mechanischer euzentrischer Probentisch | |
Bühnenbereich | X=110 mm, Y=110 mm, Z=65 mm T: -10*~+70°, R: 360° |
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Detektoren und Erweiterungen | Standard | In-Lens-Detektor Everhart-Thornley-Detektor (ETD) |
Optional | Einziehbarer Rückstreuelektronendetektor (BSED) Einziehbarer Rastertransmissionselektronenmikroskopie-Detektor (STEM) Energiedispersives Spektrometer (EDS) Elektronenrückstreuungsmuster (EBSD) Probenaustausch-Ladeschleuse (4 Zoll und 8 Zoll optional) Trackball & Knopf-Bedienfeld Probentisch-Tandemverzögerung Magnetfeld & Akustisches Lärmschutzsystem (SEMI-zertifiziert) |
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Software | Sprachen | Englisch |
Betriebssystem | Windows |
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Navigation | Nav-Cam, Gesten-Schnellnavigation |
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Automatische Funktionen | Automatische Helligkeit & Kontrast, Autofokus, Auto-Stigmator |