CIQTEK DB500 ist ein Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop mit einer fokussierten Ionenstrahlsäule für die Nanoanalyse und Probenvorbereitung, das mit „SuperTunnel“-Technologie, geringer Aberration und magnetfreiem Objektivdesign, niedriger Spannung und hoher Auflösung ausgestattet ist Fähigkeit, die seine analytische Fähigkeit im Nanomaßstab gewährleistet. Die Ionensäule ermöglicht eine Ga+-Flüssigmetall-Ionenquelle mit einem äußerst stabilen und hochwertigen Ionenstrahl, um die Fähigkeit zur Nanofertigung sicherzustellen.
DB500 ist mit einem integrierten Nanomanipulator, einem Gasinjektionssystem, einem elektrischen Antikontaminationsmechanismus für die Objektivlinse und 24 Erweiterungsanschlüssen ausgestattet, was es zu einer umfassenden Nanoanalyse- und Fertigungsplattform mit umfassenden Konfigurationen und Erweiterbarkeit macht.
• „SuperTunnel“-Elektronenoptik-Technologie mit magnetfreier Objektivlinse, geeignet für hochauflösende Bildgebung und kompatibel mit magnetischer Probenbildgebung.
• Die fokussierte Ionenstrahlsäule, die einen äußerst stabilen, hochwertigen Ionenstrahl ausgibt, geeignet für hochwertige Nanofertigung und TEM-Probenvorbereitung.
• Ein piezoelektrisch angetriebener Manipulator im Probenraum mit integrierter Steuerung für präzise Handhabung.
• Eigenständig entwickeltes System mit starker Erweiterbarkeit. Das integrierte Ionenquellen-Baugruppendesign ermöglicht einen schnellen Austausch der Ionenquelle. Exzellenter Service, unterstützt durch eine im Lieferumfang enthaltene dreijährige Garantie.
Auflösung: 3 nm bei 30 KV
Sondenstrom (Ionenstrahlstrombereich): 1 pA~50 nA
Beschleunigungsspannungsbereich: 500 V~30 kV
Austauschintervall der Ionenquelle: ≥1000 Stunden
Stabilität: 72 Stunden ununterbrochener Betrieb
Kammer innenmontiert
Dreiachsig, rein piezoelektrisch angetrieben
Schrittmotorgenauigkeit ≤10 nm
Maximale Fahrgeschwindigkeit 2 mm/s
Integrierte Steuerung
Einzelnes GIS-Design
Es stehen verschiedene Gasvorläuferquellen zur Verfügung
Nadeleinstichabstand ≥35 mm
Bewegungswiederholgenauigkeit ≤10 μm
Wiederholgenauigkeit der Heizungstemperaturregelung ≤0,1 °C
Heizbereich: Raumtemperatur ~ 90 °C
Integrierte Steuerung
Elektronenstrahlsystem | Elektronenkanonentyp | Hochhelle Schottky-Feldemissions-Elektronenkanone |
Auflösung | 1,2 nm bei 15 kV | |
Beschleunigungsspannung | 20 V~30 kV | |
Ionenstrahlsystem | Ionenquellentyp | Flüssige Galliumionenquelle |
Auflösung | 3 nm bei 30 kV | |
Beschleunigungsspannung | 500 V ~ 30 kV | |
Probenkammer | Vakuumsystem | Vollautomatische Steuerung, ölfreies Vakuumsystem |
Kameras |
Drei Kameras (Optische Navigation + Kammermonitor x2) |
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Bühnentyp | 5-Achsen-mechanischer euzentrischer Probentisch | |
Bühnenbereich |
X=110 mm, Y=110 mm, Z=65 mm T: -10°~+70°, R:360° |
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Detektoren und Erweiterungen | Standard |
In-Lens-Detektor Everhart-Thornley-Detektor (ETD) |
Optional |
Einziehbarer Rückstreuelektronendetektor (BSED) Einziehbarer Rastertransmissionselektronenmikroskopie-Detektor (STEM) Energiedispersives Spektrometer (EDS) Elektronenrückstreubeugungsmuster (EBSD) Nano-Manipulator Gasinjektionssystem Plasmareiniger Probenaustausch-Ladungsschleuse Trackball- und Knopf-Bedienfeld |
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Software | Sprachen | Englisch |
Betriebssystem | Windows | |
Navigation | Nav-Cam, Gesten-Schnellnavigation | |
Automatische Funktionen | Automatische Helligkeit und Kontrast, Autofokus, automatischer Stigmator |