Feldemissions-TEM | TH-F120

Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop (FE-SEM) mit Focused Ion Beam (FIB)-Säulen Das CIQTEK DB550 Focused Ion Beam Scanning Electron Microscope (FIB-SEM) verfügt über eine fokussierte Ionenstrahlsäule für die Nanoanalyse und Probenvorbereitung. Es nutzt die „Supertunnel“-Elektronenoptiktechnologie, geringe Aberration und ein nichtmagnetisches Objektivdesign und verfügt über die Funktion „Niederspannung, hohe Auflösung“, um seine Analysefähigkeiten im Nanomaßstab sicherzustellen. Die Ionensäulen ermöglichen eine Ga+-Flüssigmetall-Ionenquelle mit hochstabilen und qualitativ hochwertigen Ionenstrahlen, um die Fähigkeit zur Nanofabrikation sicherzustellen. Der DB550 ist eine All-in-one-Nanoanalyse- und Fertigungs-Workstation mit integriertem Nanomanipulator, Gasinjektionssystem und benutzerfreundlicher GUI-Software.

Hochgeschwindigkeits-Rasterelektronenmikroskop für die skalenübergreifende Abbildung von großvolumigen Proben CIQTEK HEM6000 verfügt über Technologien wie die hochhelle Großstrahl-Stromelektronenkanone, ein Hochgeschwindigkeits-Elektronenstrahl-Ablenksystem, eine Hochspannungs-Probentischverzögerung, eine dynamische optische Achse und ein elektromagnetisches und elektrostatisches Immersions-Kombinationsobjektiv um eine schnelle Bildaufnahme zu erreichen und gleichzeitig eine Auflösung im Nanomaßstab sicherzustellen. Der automatisierte Betriebsprozess ist für Anwendungen wie einen effizienteren und intelligenteren großflächigen hochauflösenden Bildgebungsworkflow konzipiert. Die Abbildungsgeschwindigkeit kann fünfmal schneller sein als bei einem herkömmlichen Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop (FESEM).

Ultrahochauflösende Feldemissions-Rasterelektronenmikroskopie (FESEM): 0,6 nm bei 15 kV und 1,0 nm bei 1 kV Das CIQTEK SEM5000X ultrahochauflösende FESEM nutzt den verbesserten Säulenkonstruktionsprozess, die „SuperTunnel“-Technologie und das hochauflösende Objektivlinsendesign, um die Bildauflösung bei niedriger Spannung zu verbessern. Die Probenkammeranschlüsse des FESEM SEM5000X sind auf 16 erweiterbar, und die Probenwechsel-Ladeschleuse unterstützt Wafergrößen bis zu 8 Zoll (maximaler Durchmesser 208 mm), wodurch sich die Einsatzmöglichkeiten deutlich erweitern. Die erweiterten Scanmodi und erweiterten automatisierten Funktionen sorgen für eine stärkere Leistung und ein noch optimierteres Erlebnis.

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