Analytisches Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop (FESEM), ausgestattet mit einer langlebigen Schottky-Feldemissionselektronenkanone mit hoher Helligkeit
Mit dem dreistufigen Kondensator-Elektronenoptik-Säulendesign für Strahlströme bis zu 200 nA bietet SEM4000Pro Vorteile bei EDS, EBSD, WDS und anderen analytischen Anwendungen. Das System unterstützt den Niedrigvakuummodus sowie einen leistungsstarken Niedrigvakuum-Sekundärelektronendetektor und einen einziehbaren Rückstreuelektronendetektor, der bei der direkten Beobachtung schlecht leitender oder sogar nicht leitender Proben helfen kann.
Der standardmäßige optische Navigationsmodus und eine intuitive Benutzeroberfläche erleichtern Ihre Analyse.
• Ausgestattet mit einer Schottky-Feldemissions-Elektronenkanone mit hoher Helligkeit und langer Lebensdauer
• Hohe Auflösung von 0,9 nm bei 30 kV
• Dreistufiges Kondensorlinsendesign, breiter einstellbarer Strahlstrombereich mit maximalen Strahlströmen von bis zu 200 nA
• Standard-Niedrigvakuummodus, leistungsstarker Niedrigvakuum-Sekundärelektronendetektor und einziehbarer Rückstreuelektronendetektor
• Nicht eintauchendes, magnetfeldfreies Objektivdesign ermöglicht die direkte Beobachtung magnetischer Proben
• Standardmäßiger optischer Navigationsmodus
Schlüsselparameter | Auflösung | Hochvakuum |
0,9 nm bei 30 kV, SE |
Niedriges Vakuum |
2,5 nm bei 30 kV, BSE, 30 Pa 1,5 nm bei 30 kV, SE, 30 Pa |
||
Beschleunigungsspannung | 0,2 ~ 30 kV | ||
Vergrößerung | 1 ~ 1.000.000 x | ||
Elektronenkanonentyp | Hochhelle Schottky-Feldemissions-Elektronenkanone | ||
Probenkammer | Vakuumsystem | Vollautomatische Steuerung | |
Niedriges Vakuum (optional) | Max. 180 Pa | ||
Kamera | Dual-Kameras (optische Navigation + Kammerüberwachung) | ||
Entfernung |
X: 110 mm Y: 110 mm Z: 65 mm T: -10°~ +70° R: 360° |
||
Detektoren und Erweiterungen | Standard |
Everhart-Thornley-Detektor (ETD) Low Vacuum Detector (LVD) Rückstreuelektronendetektor (BSED) |
|
Optional |
STEM-Detektor Energiedispersives Spektrometer (EDS) Elektronenrückstreuungsbeugungsmuster (EBSD) Probenaustausch-Ladeschleuse Trackball- und Knopf-Bedienfeld |
||
Software | Sprache | Englisch | |
OS | Windows | ||
Navigation | Nav-Cam, Gesten-Schnellnavigation | ||
Automatische Funktionen | Autom. Helligkeit und Kontrast, Autofokus, Auto-Stigmator |