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Doppelanodenstruktur an einer Elektronenkanone
*Optional
Intermittierende Anode
Die intermittierende Anode ist zwischen der Kathodenanordnung und der Anode angeordnet. Bei niedriger Anregungsspannung kann die Extraktionseffizienz des Elektronenstrahls verbessert, die Auflösung um 10 % und das Signal-Rausch-Verhältnis um 30 % erhöht werden.
Bei Proben aus Kohlenstoffmaterial ist die Eindringtiefe des Strahls bei niedriger Anregungsspannung gering, sodass die wahren Informationen zur Oberflächenmorphologie der Probe mit mehr Details erfasst werden können.
Bei Polymerfaserproben verursachen hohe Anregungsspannungen Strahlenschäden an der Probe, während Niederspannungsstrahlen die Erhaltung von Oberflächendetails ohne Beschädigung ermöglichen.
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Niedervakuum-SEM-Modus
Das CIQTEK SEM3200 SEM-Mikroskop unterstützt zweistufige Niedervakuummodi: 5–180 Pa Kammerdruck können ohne druckbegrenzende Blende erreicht werden, mit PLA sind 180–1000 Pa erreichbar. Die speziell entwickelte Objektivlinsen-Vakuumkammer minimiert die mittlere freie Elektronenweglänge im Niedervakuum und hält die Auflösung bei 3 nm bei 30 kV.
Der einfallende Elektronenstrahl ionisiert die Luftmoleküle auf der Oberfläche und erzeugt Elektronen und Ionen, wobei die Ionen die auf der Probenoberfläche erzeugten geladenen Teilchen neutralisieren und so den Effekt der Ladungsminderung erzielen.
Die Sekundärelektronenemission von der Probenoberfläche ionisiert Luftmoleküle und erzeugt gleichzeitig Elektronen, Ionen und Fotosignale. Die erzeugten Elektronen ionisieren dann weitere Luftmoleküle, wodurch eine große Anzahl von Fotosignalen erzeugt und anschließend von einem Niedervakuumdetektor (LVD) erfasst wird.
Im Hochvakuummodus erkennt LVD direkt das von der Probe emittierte Kathodolumineszenzsignal, das für die Kathodolumineszenzbildgebung erfasst werden kann, mit gleichzeitiger Bildgebung vom BSED-Kanal.
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Optische Navigation
Die Verwendung einer vertikal montierten Kammerkamera zur Aufnahme optischer Bilder für die Probentischnavigation ermöglicht eine intuitivere und genauere Positionierung der Probe.
▶Intelligente unterstützte Bildastigmatismuskorrektur
In diesem Modus variiert der Astigmatismuswert von X und Y mit den Pixeln. Die Bildschärfe wird beim optimalen Astigmatismuswert maximiert, was eine schnelle Stigmatoranpassung ermöglicht.
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Auto-Funktionen
Verbesserte automatische Helligkeits- und Kontrasteinstellungen, automatischer Fokus und automatische Astigmatismuskorrekturfunktionen. Bildgebung mit einem einzigen Klick!
>> Automatischer Fokus
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Automatische Astigmatismuskorrektur
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Automatische Helligkeit und Kontrast
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Sicherer in der Anwendung
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Einfacher Filamentwechsel
Vorjustiertes Ersatzfilamentmodul, einsatzbereit.
