fib sem microscopy

FIB-SEM | DB500

Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop (FE-SEM) mit Focused Ion Beam (FIB)-Säulen

Das CIQTEK DB500 Focused Ion Beam Scanning Electron Microscope (FIB-SEM) nutzt die „SuperTunnel“-Elektronenoptiktechnologie, geringe Aberration und ein nichtmagnetisches Objektivdesign mit niedriger Spannung und hoher Auflösung, um sicherzustellen die nanoskalige Analyse. Die Ionensäule ermöglicht eine Ga+-Flüssigmetall-Ionenquelle mit einem äußerst stabilen und hochwertigen Ionenstrahl für die Nanofabrikation.

FIB-SEM DB500 verfügt über einen integrierten Nanomanipulator, ein Gasinjektionssystem, einen elektrischen Antikontaminationsmechanismus für die Objektivlinse und 24 Erweiterungsanschlüsse, was es zu einer umfassenden Nanoanalyse- und Fertigungsplattform mit umfassenden Konfigurationen und Erweiterbarkeit macht .

CIQTEK DB500 FIB-SEM Funktionen <

• „SuperTunnel“-Elektronenoptik-Technologie mit magnetfreier Objektivlinse, geeignet für hochauflösende Bildgebung und kompatibel mit magnetischer Probenbildgebung.

Die fokussierte Ionenstrahlsäule (FIB) gibt einen äußerst stabilen, hochwertigen Ionenstrahl aus, der für hochwertige Nanofertigung und TEM-Probenvorbereitung geeignet ist.

Ein piezoelektrisch angetriebener Manipulator im Probenraum mit integrierter Steuerung für präzises Handling.

Eigenständig entwickeltes System mit starker Erweiterbarkeit. Das integrierte Ionenquellen-Baugruppendesign ermöglicht einen schnellen Austausch der Ionenquelle. Weltweiter Service, drei Jahre Garantie für FIB-SEM DB500.

Technische Highlights des CIQTEK DB500 FIB-SEM

FIBSEM DB500 - Focused Ion Beam Column

Fokussierter Ionenstrahl (FIB) Spalte

Auflösung: 3 nm bei 30 kV

Sondenstrom (Ionenstrahlstrombereich): 1 pA~50 nA

Beschleunigungsspannungsbereich: 0,5–30 kV

Austauschintervall der Ionenquelle: ≥1000 Stunden

Stabilität: 72 Stunden ununterbrochener Betrieb


FIBSEM DB500 - Nano-manipulator

Nano-Manipulator

Kammer innenmontiert

Dreiachsiger rein piezoelektrisch angetriebener Antrieb

Schrittmotorgenauigkeit ≤10 nm

Maximale Fahrgeschwindigkeit 2 mm/s

Integrierte Steuerung


FIBSEM DB500 - Ion Beam-Electron Beam Collaboration

Ionenstrahl-Elektronenstrahl-Kollaboration


FIBSEM DB500 - Gas Injection System

Gasinjektionssystem

Einzelnes GIS-Design

Es stehen verschiedene Gasvorläuferquellen zur Verfügung

Nadeleinstichabstand ≥35 mm

Bewegungswiederholgenauigkeit ≤10 μm

Wiederholgenauigkeit der Heizungstemperaturregelung ≤0,1°C

Heizbereich: Raumtemperatur ~ 90°C (194°F)

Integrierte Steuerung

CIQTEK FIB-SEM DB500-Spezifikationen
Elektronenstrahlsystem Elektronenkanonentyp Hochhelle Schottky-Feldemissions-Elektronenkanone
Auflösung 1,2 nm bei 15 kV
Beschleunigungsspannung 0,02~30 kV
Ionenstrahlsystem Ionenquellentyp Flüssige Galliumionenquelle
Auflösung 3 nm bei 30 kV
Beschleunigungsspannung 0,5~30 kV
Probenkammer Vakuumsystem Vollautomatische Steuerung, ölfreies Vakuumsystem
Kameras

Drei Kameras

(Optische Navigation + Kammermonitor x2)

Bühnentyp 5-achsiger mechanischer euzentrischer Probentisch
Stufenbereich

X=110 mm, Y=110 mm, Z=65 mm

T: -10°~+70°, R:360°

SEM-Detektoren und Erweiterungen Standard

In-Lens-Detektor

Everhart-Thornley-Detektor (ETD)

Optional

Einziehbarer Rückstreuelektronendetektor (BSED)

Einziehbarer Raster-Transmissionselektronenmikroskop-Detektor (STEM)

Energiedispersives Spektrometer (EDS/EDX)

Elektronenrückstreuungsbeugungsmuster (EBSD)

Nano-Manipulator

Gasinjektionssystem

Plasmareiniger

Probenaustausch-Ladeschleuse

Trackball- und Knopf-Bedienfeld

Software Sprachen Englisch
Betriebssystem Windows
Navigation Nav-Cam, Gesten-Schnellnavigation
Automatische Funktionen Autom. Helligkeit und Kontrast, Autofokus, Auto-Stigmator
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