Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop (FE-SEM) mit Focused Ion Beam (FIB)-Säulen
Das CIQTEK DB500 Focused Ion Beam Scanning Electron Microscope (FIB-SEM) nutzt die „SuperTunnel“-Elektronenoptiktechnologie, geringe Aberration und ein nichtmagnetisches Objektivdesign mit niedriger Spannung und hoher Auflösung, um sicherzustellen die nanoskalige Analyse. Die Ionensäule ermöglicht eine Ga+-Flüssigmetall-Ionenquelle mit einem äußerst stabilen und hochwertigen Ionenstrahl für die Nanofabrikation.
FIB-SEM DB500 verfügt über einen integrierten Nanomanipulator, ein Gasinjektionssystem, einen elektrischen Antikontaminationsmechanismus für die Objektivlinse und 24 Erweiterungsanschlüsse, was es zu einer umfassenden Nanoanalyse- und Fertigungsplattform mit umfassenden Konfigurationen und Erweiterbarkeit macht .
• „SuperTunnel“-Elektronenoptik-Technologie mit magnetfreier Objektivlinse, geeignet für hochauflösende Bildgebung und kompatibel mit magnetischer Probenbildgebung.
• Die fokussierte Ionenstrahlsäule (FIB) gibt einen äußerst stabilen, hochwertigen Ionenstrahl aus, der für hochwertige Nanofertigung und TEM-Probenvorbereitung geeignet ist.
• Ein piezoelektrisch angetriebener Manipulator im Probenraum mit integrierter Steuerung für präzises Handling.
• Eigenständig entwickeltes System mit starker Erweiterbarkeit. Das integrierte Ionenquellen-Baugruppendesign ermöglicht einen schnellen Austausch der Ionenquelle. Weltweiter Service, drei Jahre Garantie für FIB-SEM DB500.
Auflösung: 3 nm bei 30 kV
Sondenstrom (Ionenstrahlstrombereich): 1 pA~50 nA
Beschleunigungsspannungsbereich: 0,5–30 kV
Austauschintervall der Ionenquelle: ≥1000 Stunden
Stabilität: 72 Stunden ununterbrochener Betrieb
Kammer innenmontiert
Dreiachsiger rein piezoelektrisch angetriebener Antrieb
Schrittmotorgenauigkeit ≤10 nm
Maximale Fahrgeschwindigkeit 2 mm/s
Integrierte Steuerung
Einzelnes GIS-Design
Es stehen verschiedene Gasvorläuferquellen zur Verfügung
Nadeleinstichabstand ≥35 mm
Bewegungswiederholgenauigkeit ≤10 μm
Wiederholgenauigkeit der Heizungstemperaturregelung ≤0,1°C
Heizbereich: Raumtemperatur ~ 90°C (194°F)
Integrierte Steuerung
CIQTEK FIB-SEM Fokussiertes Ionenstrahl-Rasterelektronenmikroskop BD500 |
CIQTEK FIB-SEM Praktische Demonstration – TEM-Probenvorbereitung |
CIQTEK FIB-SEM DB500-Spezifikationen | ||
Elektronenstrahlsystem | Elektronenkanonentyp | Hochhelle Schottky-Feldemissions-Elektronenkanone |
Auflösung | 1,2 nm bei 15 kV | |
Beschleunigungsspannung | 0,02~30 kV | |
Ionenstrahlsystem | Ionenquellentyp | Flüssige Galliumionenquelle |
Auflösung | 3 nm bei 30 kV | |
Beschleunigungsspannung | 0,5~30 kV | |
Probenkammer | Vakuumsystem | Vollautomatische Steuerung, ölfreies Vakuumsystem |
Kameras |
Drei Kameras (Optische Navigation + Kammermonitor x2) |
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Bühnentyp | 5-achsiger mechanischer euzentrischer Probentisch | |
Stufenbereich |
X=110 mm, Y=110 mm, Z=65 mm T: -10°~+70°, R:360° |
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SEM-Detektoren und Erweiterungen | Standard |
In-Lens-Detektor Everhart-Thornley-Detektor (ETD) |
Optional |
Einziehbarer Rückstreuelektronendetektor (BSED) Einziehbarer Raster-Transmissionselektronenmikroskop-Detektor (STEM) Energiedispersives Spektrometer (EDS/EDX) Elektronenrückstreuungsbeugungsmuster (EBSD) Nano-Manipulator Gasinjektionssystem Plasmareiniger Probenaustausch-Ladeschleuse Trackball- und Knopf-Bedienfeld |
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Software | Sprachen | Englisch |
Betriebssystem | Windows | |
Navigation | Nav-Cam, Gesten-Schnellnavigation | |
Automatische Funktionen | Autom. Helligkeit und Kontrast, Autofokus, Auto-Stigmator |