Mit der Weiterentwicklung feinerer Prozessknoten in der Halbleiterfertigung sind die Fehleranalyse auf Waferebene, die Fehlerortung und die Mikro-Nano-Fertigung zu Schlüsselfaktoren für die Verbesserung der Ausbeute geworden. CIQTEK stellt die 8-Zoll-Wafer-Dual-Beam-Vollgrößen-Verarbeitungslösung , das hochauflösende Bildgebung und präzise Ionenstrahlverarbeitung kombiniert, um ein „Beobachtungs-Analyse-Schneiden“ über den gesamten Wafer zu erreichen und so eine starke technische Unterstützung für fortschrittliche Halbleiterprozesse bietet. Diese Lösung verfügt über einen hochpräzisen Probentisch mit 150 mm Hub, der die zerstörungsfreie Beobachtung und Bearbeitung von 8-Zoll-Wafern ermöglicht. Ein externes optisches Navigationssystem und intelligente Antikollisionsalgorithmen gewährleisten eine schnelle und präzise Waferpositionierung sowie einen sicheren Betrieb. Das System ist mit einer Schottky-Feldemissions-Elektronenkanone ausgestattet, die eine Auflösung von 0,9 nm bei 15 kV und eine Ionenstrahlauflösung von 3 nm bei 30 kV bietet und Defekterkennung, Querschnittsanalyse und die Herstellung von Mikrostrukturen im Nanomaßstab ermöglicht. Hauptvorteile: 150-mm-Verfahrtisch: Kombiniert lange Wege mit hoher Präzision für einen großen Beobachtungsbereich. Hervorragende Kompatibilität mit Vorrichtungen unterschiedlicher Größe. Die robuste Struktur gewährleistet Waferstabilität und schnelles, zuverlässiges Laden. 8-Zoll-Schnellwechsel: Intelligentes, gewichtstragendes Design mit Gleitbasis für Stabilität und Haltbarkeit. Volle Größenkompatibilität: Unterstützt 2/4/6/8-Zoll-Wafer. Schneller Probenwechsel: Vakuumpumpen und Probenladen innerhalb einer Minute. Software und Kollisionsschutz: Vollautomatische intelligente Navigation mit präziser Bewegung und Positionierung. Koordinierte Mehrachsenbewegung zur Beobachtung des gesamten Wafers. Intelligenter Kollisionsschutz: Flugbahnsimulation und algorithmische Raumberechnungen zur Risikovermeidung. Mehrfache Echtzeitüberwachung: Echtzeitüberwachung der Waferposition aus mehreren Winkeln. Externe optische Navigation: Das ultrastabile Strukturdesign unterdrückt Bildverwacklungen. Hochauflösende Bildgebung mit präzisem Sichtfeld für die Vollwaferanzeige. Professionelle Blendschutzbeleuchtung reduziert die Reflexion auf der Waferoberfläche. Wafer-Beobachtungsbereich CIQTEK-Lösung für Zweistrahl-Elektronenmikroskope kombiniert herausragende Hardware mit intelligenten Softwaresystemen und ermöglicht so eine effiziente Fehlererkennung und Prozessoptimierung durch Helligkeits- und Kontrastanpassung mit nur einem Klick, Autofokus und Bildausgabe in mehreren Formaten. So können Benutzer die gesamte Aufgabenkette von der Fehlererkennung bis zur Prozessoptimierung abschließen.
Mehr sehenIn den Biowissenschaften ist die Durchführung hochpräziser und groß angelegter 3D-Struktur- und Dynamikanalysen biologischer Proben wie Zellen und Gewebe zum Schlüssel zur Überwindung von Forschungsengpässen geworden. CIQTEK hat eine Multi-Technologie-Route Volumetrische Elektronenmikroskopie (VEM) Lösung, Integration SS-SEM, SBF-SEM und FIB-SEM . Dies bietet eine umfassende, leistungsstarke und intelligente Plattform für die biologische 3D-Rekonstruktion und hilft Forschern, die Geheimnisse des Lebens auf Mikroebene zu lüften. Drei anspruchsvolle technische Routen 01. SS-SEM Hochgeschwindigkeitsbildgebung Durch die Kombination der externen Serienschnitte mit dem CIQTEK Hochgeschwindigkeits-SEM HEM6000-Bio Diese Lösung ermöglicht eine schnelle Bildgebung und automatisierte Erfassung großvolumiger Proben. Die Effizienz der Datenerfassung ist mehr als fünfmal höher als bei herkömmlichen SEM und unterstützt einen unbeaufsichtigten Hochdurchsatzbetrieb rund um die Uhr. 02. SBF-SEM In-Situ-Schnitt Basierend auf dem CIQTEK ultrahochauflösendes SEM5000X Mit einem integrierten Mikrotom ermöglicht dieser Ansatz In-situ-Schnitt- und Bildgebungszyklen. Er bietet eine einfache Bedienung, einen hohen Automatisierungsgrad und vermeidet effektiv Oberflächenkontaminationen. 03. FIB-SEM Hochpräzise Analyse Durch die Nutzung fokussierter Ionen- und Elektronenstrahl-Doppelstrahlsysteme liefert dieser Ansatz eine Auflösung im Nanomaßstab auf der Z-Achse zur Analyse feiner Strukturen wie Organellen und Membranen. Er ermöglicht eine 3D-Rekonstruktion vor Ort ohne physisches Schneiden. Intelligente Integration und breite Anwendungsmöglichkeiten Die CIQTEK VEM-Lösung integriert KI-Algorithmen Und eine mehrsprachige Softwareplattform , unterstützt einen vollständigen Arbeitsablauf von der Datenerfassung, Bildausrichtung und Segmentierung bis hin zur 3D-Visualisierung. Es ist mit gängiger Rekonstruktionssoftware kompatibel und verkürzt die Lernkurve erheblich. Die Anwendungsfälle erstrecken sich über die Neurowissenschaften, Zellbiologie und pathogene Mikrobiologie und bieten ein leistungsstarkes Instrument zur Förderung der Biowissenschaftsforschung.
Mehr sehenDie Forschung zum mikroskopischen Verhalten von Materialien tritt in eine neue Ära der Multi-Szenario-Kopplung und dynamische Charakterisierung vor Ort . CIQTEK hat ein innovatives Lösung für mechanische Tests vor Ort , entwickelt mit herausragender Offenheit und Kompatibilität. Es ermöglicht die nahtlose Integration der gesamten Palette von CIQTEK Elektronenmikroskope mit gängigen In-situ-Testgeräten und bietet eine flexible und effiziente Plattform für gekoppelte Analysen in verschiedenen Forschungsszenarien. Die Lösung durchbricht die Beschränkungen geschlossener Systeme und integriert alle kritischen Elemente, die für In-situ-EM Anpassungsfähigkeit, mit: Hoher Strahlstrom : >100 nA, ideal für schnelle EDS/EBSD-Analyse Großer Raum : 360 × 310 × 288 mm (L × B × H) Hohe Tragfähigkeit : 5 kg (bis zu 10 kg mit Sondervorrichtungen) Multi-View-CCDs : Gewährleistung der Systemsicherheit im In-situ-Betrieb Mehrere Schnittstellen : Unterstützung von kundenspezifischem Flanschzubehör Vorabnahme : vollständiges Debuggen des Zubehörs vor der Auslieferung, um die vollständige Funktionalität ohne Probleme bei der Installation vor Ort sicherzustellen Die Lösung kann konfiguriert werden über CIQTEKs komplettes Sortiment an Elektronenmikroskopieprodukten , einschließlich CIQTEK SEM3200 , SEM5000X , DB550 Dual-Beam-Systeme und mehr. Es bietet außerdem nahtlose Kompatibilität mit Zugprüfständen, Heiztischen, Nanoindentern und elektrochemischen Arbeitsstationen weltweit führender Anbieter. Diese offene Architektur ermöglicht es Forschern, die am besten geeigneten Geräte flexibel zu kombinieren und so die experimentelle Leistung zu maximieren. CIQTEKs In-situ-Bühnenlösung unterstützte Kunden bei der Veröffentlichung eines hochwirksames Papier (DOI: 10.1126/science.adq6807). CIQTEKs mechanische In-situ-Lösung unterstützt außerdem die Mehrfeldkopplung (mechanisch, thermisch, elektrochemisch) und ermöglicht so die Echtzeitbeobachtung von Materialien im Nanomaßstab unter komplexen Umgebungsbedingungen. Durch die Synchronisierung hochauflösender Bilder mit In-situ-Signalen können Forscher kritische Phänomene wie Rissausbreitung, Phasenübergänge und Grenzflächenreaktionen präzise erfassen. Mit einem Temperaturbereich von -170 bis 1200 °C, erweiterter Laststeuerung und schnellen Reaktionssystemen simuliert es präzise die Einsatzbedingungen von Materialien in verschiedenen Branchen. In Kombination mit EBSD und EDS liefert es umfassende Datensätze zum Verständnis des Materialverhaltens unter gekoppelten Reizen. Erfolgreich angewendet in Materialien für die Luft- und Raumfahrt, neue Energiegeräte und biomedizinische Materialien Diese Lösung demonstriert die außergewöhnliche Kompatibilität und Skalierbarkeit von CIQTEK bei fortschrittlichen Elektronenmikroskopieplattformen.
Mehr sehenVierdimensionale Rastertransmissionselektronenmikroskopie (4D-STEM) ist eine der modernsten Richtungen in der Elektronenmikroskopie. Durch einen zweidimensionalen Scan über die Probenoberfläche und die Aufzeichnung eines vollständigen Beugungsmusters an jedem Scanpunkt mit einem Pixeldetektor generiert 4D-STEM einen vierdimensionalen Datensatz, der sowohl Informationen zum Realraum als auch zum reziproken Raum enthält. Diese Technik durchbricht die Grenzen der konventionellen Elektronenmikroskopie, die typischerweise nur ein einzelnes Streusignal erfasst. Stattdessen erfasst und analysiert sie das gesamte Spektrum der Elektronen-Proben-Wechselwirkungen. Mit 4D-STEM können Forscher mehrere erweiterte Funktionen in einem einzigen Experiment erreichen, darunter virtuelle Bildgebung, Kristallorientierung und Dehnungskartierung, Analyse der elektrischen und magnetischen Feldverteilung (differenzieller Phasenkontrast) und sogar Rekonstruktion mit atomarer Auflösung durch Beugungsstapelung. Es erweitert die Dimensionalität und Tiefe der Materialcharakterisierung erheblich und bietet ein beispielloses Werkzeug für die Nanowissenschaft und Materialforschung. Auf der chinesischen Nationalkonferenz für Elektronenmikroskopie 2025 (26.–30. September, Wuhan) CIQTEK veröffentlicht seine 4D-STEM-Lösung , entwickelt, um die Grenzen der herkömmlichen Bildgebung zu durchbrechen und Daten mit unübertroffener Dimensionalität und Analyseleistung zu liefern. System-Workflow Der CIQTEK 4D-STEM-Lösung Merkmale hohe räumliche Auflösung, mehrdimensionale Analyse, Niedrigdosisbetrieb zur Minimierung von Strahlenschäden und flexibler Datenverarbeitung , und bietet Forschern zuverlässige und herausragende Methoden für die Analyse fortschrittlicher Materialien.
Mehr sehenIn den Bereichen der Forschung zur Leistungsfähigkeit von Hochtemperaturmaterialien und der Analyse von Phasenübergangsmechanismen gelingt es herkömmlichen externen Heizmethoden häufig nicht, eine präzise Temperaturregelung im Mikrobereich mit einer Echtzeitbeobachtung zu kombinieren. CIQTEK hat in Zusammenarbeit mit dem Micro-Nano Center der University of Science and Technology of China ein innovatives In-situ-Heizchip-Lösung Durch die Integration von MEMS-Heizchips mit Zweistrahl-Elektronenmikroskopen ermöglicht diese Lösung eine präzise Temperaturregelung (von Raumtemperatur bis 1100 °C) und mikrodynamische Analyse von Proben und bietet ein neues Werkzeug zum Studium des Materialverhaltens in Hochtemperaturumgebungen. Diese Lösung verwendet Die CIQTEK Zweistrahl-SEM Und spezialisierte MEMS-Heizchips , mit einer Temperaturregelgenauigkeit von besser als 0,1 °C und einer Temperaturauflösung von besser als 0,1 °C. Das System zeichnet sich außerdem durch eine ausgezeichnete Temperaturgleichmäßigkeit und geringe Infrarotstrahlung aus, was eine stabile Analyse bei hohen Temperaturen gewährleistet. Das System unterstützt verschiedene Charakterisierungstechniken während des Erhitzens, darunter die Beobachtung der Mikroregionenmorphologie, die EBSD-Kristallorientierungsanalyse und die EDS-Zusammensetzungsanalyse. Dies ermöglicht ein umfassendes Verständnis von Phasenübergängen, Spannungsentwicklung und Zusammensetzungsmigration unter thermischen Einflüssen. Das System arbeitet ohne Unterbrechung des Vakuums und erfüllt alle Prozessanforderungen für die Probenvorbereitung und -charakterisierung (In-situ-Mikroregion-EBSD). Das integrierte Workflow-Design deckt den gesamten Prozess ab, von der Probenvorbereitung (Ionenstrahlverarbeitung, Nanomanipulatorextraktion) bis hin zu In-situ-Schweiß- und Heiztests. Das System unterstützt den Mehrwinkelbetrieb und verfügt über einen 45°-Heizchip und eine 36°-Kupfergitterposition, die den komplexen experimentellen Anforderungen gerecht werden. Das System wurde erfolgreich in der Hochtemperatur-Leistungsforschung von Legierungen, Keramiken und Halbleitern eingesetzt und hilft Benutzern, tiefere Einblicke in die Materialreaktionen in realen Umgebungen zu gewinnen. 26.–30. September, Wuhan | Chinesische Nationalkonferenz für Elektronenmikroskopie 2025 Die acht wichtigsten Elektronenmikroskopielösungen von CIQTEK werden vorgestellt!
Mehr sehenCIQTEK hat seine nächste Generation vorgestellt 12-Zoll-Wafer Rasterelektronenmikroskop (REM) Lösung , entwickelt, um die Anforderungen moderner Halbleiterfertigungsprozesse zu erfüllen. Diese innovative Lösung ermöglicht eine vollständige Waferinspektion ohne Drehen oder Neigen und gewährleistet eine hochauflösende, zerstörungsfreie Analyse zur Unterstützung der kritischen Prozessentwicklung. Ausgestattet mit einem ultragroße Reisebühne (X/Y ≥ 300 mm) deckt das System 12-Zoll-Wafer vollständig ab, sodass kein Probenschneiden oder -transfer erforderlich ist. Dies gewährleistet eine originalgetreue Betrachtung in Originalgröße und Originalposition. Mit einem Schottky-Feldemissions-Elektronenkanone erreicht es eine Auflösung von 1,0 nm bei 15 kV und 1,5 nm bei 1 kV, wodurch Schäden durch Elektronenstrahlen minimiert werden und es sich ideal für empfindliche Materialien und Strukturen eignet. Hauptmerkmale enthalten: Ultragroße Reisebühne (X/Y > 300 mm) für die Vollwaferinspektion Hochauflösende Bildgebung : 1,0 nm bei 15 kV und 1,5 nm bei 1 kV Automatisiertes Laden Und optisches Navigationssystem für schnellen Waferwechsel und präzise Positionierung Intelligente Software für Autofokus, Astigmatismuskorrektur und Multiformat-Bildausgabe Das 12-Zoll-Wafer-Inspektions-SEM von CIQTEK ist mehr als nur ein Beobachtungswerkzeug; es ist ein entscheidendes Instrument, das höhere Erträge und kleinere Knoten in der Halbleiterherstellung ermöglicht. 26.–30. September, Wuhan CIQTEK wird vorstellen acht hochmoderne Lösungen für die Elektronenmikroskopie am Chinesische Nationalkonferenz für Elektronenmikroskopie 2025 !
Mehr sehenIn den Bereichen Biowissenschaften, Biomedizin, Lebensmittelkontrolle und Weichstoffforschung stellt die hochauflösende Abbildung hydratisierter und strahlenempfindlicher Proben seit jeher eine große Herausforderung dar. Herkömmliche Methoden der Probenvorbereitung wie chemische Fixierung, Dehydratation und Trocknung führen häufig zu Schrumpfung, Verformung oder Strukturschäden, wodurch die Ergebnisse vom tatsächlichen Zustand der Probe abweichen. Durch die Nutzung seiner fortschrittlichen Rasterelektronenmikroskopie Technologie, CIQTEK hat eingeführt, Kryo-SEM-Lösung , das Tiefkühlgefrieren und Vakuumtransfer kombiniert. Dies ermöglicht eine zerstörungsfreie und hochpräzise mikroskopische Beobachtung biologischer und empfindlicher Proben vor Ort und „friert“ die mikroskopischen Details des Lebens förmlich ein. Mit der Flüssigstickstoff-Schnellgefriertechnologie können Proben bei -210 °C sofort vitrifiziert werden, wobei ihre ursprüngliche Morphologie und chemische Zusammensetzung weitestgehend erhalten bleiben. Das integrierte Kryopräparationssystem kombiniert Gefrierbruch, Sublimationsbeschichtung und Niedertemperaturtransfer und vermeidet so die Komplexität und das Fehlerrisiko der herkömmlichen manuellen Präparation. Während des gesamten Prozesses werden die Proben unter kryogenen Vakuumbedingungen gehalten und in die SEM-Kryostufe überführt, wo hochauflösende Bildgebung bei -180 °C Elektronenstrahlschäden effektiv unterdrückt und die Bildqualität deutlich verbessert. Kryopräpariertes Buchsbaumblatt mit intakter Blattaderstruktur , während die unbehandelte Probe eine starke Schrumpfung aufweist. Joghurt Schimmel Eine kryopräparierte Joghurtprobe zeigt deutlich Proteinnetzwerke und Pilzhyphen. Darüber hinaus bietet das System eine hohe Kompatibilität und ist anpassbar über CIQTEKs komplettes SEM-Sortiment Und Dual-Beam-FIBSEM-Systeme , die unterschiedliche Anforderungen von der Routinebeobachtung bis zur fortgeschrittenen Analyse erfüllen. Der CIQTEK Kryo-SEM-Lösung ist mehr als nur ein Instrumentarium. Es verkörpert einen wissenschaftlichen Ansatz, der sich der originalgetreuen Wiederherstellung der mikroskopischen Welt widmet. Es ermöglicht Forschern, technische Grenzen zu überwinden, wichtige Details im Mikromaßstab des Lebens zu erfassen und sowohl die Grundlagenforschung als auch die angewandte Entwicklung auf ein neues Niveau zu heben. 26.–30. September, Wuhan Am Chinesische Akademische Konferenz zur Elektronenmikroskopie 2025 , CIQTEK wird enthüllen acht hochmoderne EM-Lösungen . Bleiben Sie dran!
Mehr sehenCIQTEK freut sich, die erfolgreiche Installation und Schulung des FIBSEM DB550 bei unserem Koreanischer Distributor Elektronenmikroskop-Zentrum der GSEM Dieser Meilenstein stellt einen wichtigen Schritt zur Erweiterung des Zugangs zu fortgeschrittenen Fokussierte Ionenstrahl-Rasterelektronenmikroskop-Technologie (FIBSEM) in Südkorea. Der DB550 kombiniert hochauflösende Bildgebung mit präzisem Ionenstrahlfräsen und ermöglicht Forschern so die effiziente und präzise Durchführung von 3D-Rekonstruktionen, Querschnittsanalysen und Materialmodifikationen im Nanomaßstab. Mit diesen Fähigkeiten eröffnet das System neue Möglichkeiten für die Halbleiteranalyse, Materialwissenschaft und Biowissenschaft. Nach der Installation führten CIQTEK-Ingenieure eine praktische Schulung für das GSEM-Team durch, die sowohl Standardabläufe als auch fortgeschrittene Anwendungen abdeckte. Die interaktiven Sitzungen stellten sicher, dass die Benutzer praktische Erfahrung in der Bedienung des Instruments sammelten, von der Probenvorbereitung über die hochauflösende Bildgebung bis hin zur Datenanalyse. Die Begeisterung und das Engagement des GSEM-Teams unterstrichen das große Potenzial des DB550 zur Unterstützung verschiedener Forschungsprojekte des Zentrums. Diese Zusammenarbeit spiegelt das Engagement von CIQTEK wider, eng mit Partnern weltweit zusammenzuarbeiten. Indem wir die GSEM-Anlage mit dem DB550 ausstatten, stärken wir nicht nur unsere Präsenz auf dem koreanischen Markt, sondern ermöglichen auch lokalen Forschern den Zugang zu modernsten Werkzeugen für wissenschaftliche Innovationen. Wir freuen uns auf die spannenden Ergebnisse, die das Elektronenmikroskop-Zentrum des GSEM mit dem DB550 erzielen wird, und wir sind weiterhin bestrebt, technischen Support und Zusammenarbeit zu bieten.
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