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Hochgeschwindigkeits-REM | HEM6000

Hohe Geschwindigkeit Vollautomatische Feldemission Rasterelektronenmikroskop Arbeitsplatz

CIQTEK HEM6000 Zu den Ausstattungstechnologien gehören beispielsweise eine Elektronenkanone mit hoher Helligkeit und großem Strahlstrom, ein Hochgeschwindigkeits-Elektronenstrahl-Ablenksystem, eine Hochspannungs-Probentischverzögerung, eine dynamische optische Achse und eine elektromagnetische und elektrostatische Immersions-Kombiobjektivlinse, um eine Hochgeschwindigkeits-Bildaufnahme bei gleichzeitiger Gewährleistung einer Auflösung im Nanomaßstab zu erreichen.

Der automatisierte Betriebsprozess ist für Anwendungen wie einen effizienteren und intelligenteren Workflow bei der hochauflösenden Bildgebung großer Flächen konzipiert. Seine Bildgebungsgeschwindigkeit ist mehr als fünfmal schneller als die eines herkömmlichen Feldemissions-Rasterelektronenmikroskops (FESEM).

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HEM6000-Semi HEM6000-Bio HEM6000-Lit
Niedrige Spannung und hohe Auflösung Niedrige Spannung und hohe Auflösung Vereinfachte Bedienung
Großes Sichtfeld Verschiedene automatisierte Algorithmen für den biologischen Bereich Reichhaltige Auswahlmöglichkeiten
Speziell optimierte Algorithmen für die einfache Ausrichtung hochrepetitiver Proben BSE-Detektor optimiert für biologische Anwendungen Automatisierter Hochgeschwindigkeits-Workflow
Fünfstufige elektrostatische Ablenkung Biologisches 3D-Rekonstruktionssystem
  • Hochgeschwindigkeitsautomatisierung
    Vollautomatischer Probenlade- und -entladevorgang sowie Bildaufnahmevorgang, wodurch die Gesamtbildgeschwindigkeit fünfmal schneller ist als bei herkömmlichen FESEM
  • Großes Sichtfeld
    Durch die Technologie, die die optische Achse dynamisch entsprechend dem Scan-Ablenkbereich verschiebt, wird eine minimale Randverzerrung erreicht
  • Geringe Bildverzerrung
    Die Tandem-Verzögerungstechnologie des Probentisches ermöglicht eine niedrige Landeenergie und liefert gleichzeitig hochauflösende Bilder

High Speed SEM HEM6000

CIQTEK Hochgeschwindigkeits-REM-Mikroskop HEM6000 – Spezifikationen HEM6000-Semi HEM6000-Bio HEM6000-Lite
Elektronenoptik Auflösung 1,5 nm bei 1 kV SE 1,8 nm bei 1 kV BSE 1,5 nm bei 15 kV BSE
Beschleunigungsspannung 0,1 kV – 6 kV (Verzögerungsmodus) 6 kV bis 30 kV (Modus ohne Verzögerung) 6 kV bis 30 kV
Vergrößerung 66~1.000.000x
Elektronenkanone Schottky-Feldemissions-Elektronenkanone mit hoher Helligkeit
Art der Objektivlinse Immersions-elektromagnetische und elektrostatische Kombi-Objektivlinse
Elektrostatischer Deflektor Fünfstufig Vierstufig Vierstufig
Probenladesystem Vakuumsystem Vollautomatisches ölfreies Vakuumsystem
Probenüberwachung Horizontale Überwachungskamera für die Hauptkammer; vertikale Überwachungskamera für die Probenaustausch-Schleusenkammer
Maximale Stichprobengröße 4 Zoll im Durchmesser
Probentischtyp Motorisierter 3-Achsen-Probentisch (*optional piezoelektrisch angetriebener Probentisch)
Probenbühne Reiserang X, Y: 110 mm; Z: 16 mm
Wiederholgenauigkeit des Probentisches X: ±0,6 μm; Y: ±0,3 μm
Probenaustausch Vollautomatisch
Dauer des Probenaustauschs <15 Minuten
Reinigung der Schleusenkammer Vollautomatische Plasma-Reinigungsanlage
Bilderfassung und -verarbeitung Verweilzeit 10 ns/Pixel
Erfassungsgeschwindigkeit 2*100 Mpixel/s
Bildgröße 16 K*16 K
Detektor und Zubehör Einziehbarer Detektor für Rückstreuelektronen mit geringem Winkel Optional Keiner Standard
Detektor für rückgestreute Elektronen mit geringem Winkel, unten montiert Optional Standard Keiner
In-Column-Gesamtelektronendetektor Standard Optional Optional
In-Column-Detektor für hochwinklige Rückstreuelektronen Optional Optional Optional
Piezoelektrisch angetriebener Probentisch Optional Optional Optional
Hochauflösender Großbildmodus (SW) Optional Keiner Keiner
Plasma-Reinigungssystem für die Schleusenkammer Optional Optional Optional
6-Zoll-Probenladesystem Optional Optional Optional
Aktive Antivibrationsplattform Optional Optional Optional
Al-Rauschunterdrückung; Zusammenfügen großer Bildfelder; 3D-Rekonstruktion Optional Optional Optional
Benutzeroberfläche Sprache Englisch
Betriebssystem Windows
Navigation Optische Navigation, Gestennavigation
Automatikfunktion Automatische Probenerkennung, automatische Auswahl des Bildbereichs, automatische Helligkeit und Kontrast, automatischer Fokus, automatischer Stigmator
Heiße Tags : Rasterelektronenmikroskop-Auflösung SEM-Mikroskop Preis Anwendung des Rasterelektronenmikroskops Rasterelektronenmikroskopie für Nanopartikel SEM-Mikroskop-Vergrößerung sem bse bestes Rasterelektronenmikroskop Rasterelektronenmikroskop in meiner Nähe
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