Hochgeschwindigkeits-REM | HEM6000 Lieferanten, Hochgeschwindigkeits-REM | HEM6000 Hersteller, Hochgeschwindigkeits-REM

Hochgeschwindigkeits-
Scan-Treiber

Verweilzeit 10 ns/Pixel, maximale Bilderfassungsgeschwindigkeit 2*100 M Pixel/s
Signalelektronenfilterung
System
SE/BSE signalfreie Umschaltung, Mischung mit einstellbarem Verhältnis
Vollständig elektrostatisches
Hochgeschwindigkeits-Strahlablenkungssystem
Hochauflösende Großfeld-Bildgebung, erreichbares maximales Sichtfeld von bis zu 64 µm x 64 µm bei 4 nm pro Pixel

Probentisch
Verzögerungstechnologie
Reduzieren Sie die Landespannung der einfallenden Elektronen und erhöhen Sie so die Effizienz der Signalelektronenerfassung.
Elektromagnetisches und elektrostatisches kombiniertes Immersionsobjektiv-Strahlablenkungssystem
Das Magnetfeld der Objektivlinse taucht die Probe ein und sorgt für eine hochauflösende Bildgebung mit geringer Aberration

HEM6000-Semi	HEM6000-Bio	HEM6000-Lit
Niedrige Spannung und hohe Auflösung	Niedrige Spannung und hohe Auflösung	Vereinfachte Bedienung
Großes Sichtfeld	Verschiedene automatisierte Algorithmen für den biologischen Bereich	Viele Auswahlmöglichkeiten
Speziell optimierte Algorithmen für die einfache Ausrichtung stark repetitiver Proben	BSE-Detektor optimiert für biologische Anwendungen	Automatisierter Hochgeschwindigkeits-Workflow
Fünfstufige elektrostatische Ablenkung	Biologisches 3D-Rekonstruktionssystem

Hochgeschwindigkeitsautomatisierung
Vollautomatischer Probenlade- und -entladevorgang sowie Bildaufnahmevorgang, wodurch die Gesamtbildgeschwindigkeit fünfmal schneller ist als bei herkömmlichem FESEM
Großes Sichtfeld
Technologie, die die optische Achse entsprechend dem Scan-Ablenkbereich dynamisch verschiebt, sorgt für minimale Kantenverzerrung
Geringe Bildverzerrung
Die Tandem-Verzögerungstechnologie der Probenbühne ermöglicht eine niedrige Landeenergie und liefert gleichzeitig hochauflösende Bilder

IC-Chip (Metallschicht) / 116x / BSE / 120 ns
IC-Chip (Geräteschicht) / 2.000x / BSE / 40 ns
IC-Chip (Metallschicht) / 96x / BSE / 80 ns

IC-Chip (Metallschicht) / 1.000x / BSE / 40 ns
Biopsieabschnitt / 9.500x / BSE / 120 ns
Biopsieabschnitt / 10.000x / BSE / 120 ns

Biopsieabschnitt / 10.000x / BSE / 120 ns
Biopsieabteilung / 116x / BSE / 120 ns
Glomerulus / 1.800x / BSE / 120ns

Hodenabschnitt / 9.500x / BSE / 120ns
Abteilung für Nierenpathologie / 40.000X / STEM / 320 ns
Abteilung für Nierenpathologie / 38.571x / STEM / 320ns

Abschnitt Nierenpathologie / 9.324x / STEM / 320 ns
Abschnitt Nierenpathologie / 8.110x / STEM / 320ns
Makrophagen / BSE / 3.500x / 320ns

Polyschicht
M1-Ebene

Ergebnis	HEM6000	Konventionelles Feldemissions-REM
Pixelgröße (Einzelbild)	8192 * 8192
Pixelzeit	120 ns (Punkt/Linie/Rahmen: Durchschnitt 6/2/1)	800 ns
Pixelgröße	16 nm
Gesamt abgedecktes Feld	2 mm²
Gesamterfassungszeit	25 Minuten und 32 Sekunden.	140 Minuten

Spezifikationen des Hochgeschwindigkeits-REM-Mikroskops HEM6000 von CIQTEK		HEM6000-Semi	HEM6000-Bio	HEM6000-Lite
Elektronenoptik	Auflösung	1,5 nm bei 1 kV SE	1,8 nm bei 1 kV BSE	1,5 nm bei 15 kV BSE
	Beschleunigungsspannung	0,1 kV~6 kV (Verzögerungsmodus)	6 kV~30 kV (Modus ohne Verzögerung)	6 kV~30 kV
	Vergrößerung	66~1.000.000x
	Elektronenkanone	Hochhelle Schottky-Feldemissions-Elektronenkanone
	Typ der Objektivlinse	Eintauchobjektiv mit elektromagnetischer und elektrostatischer Kombination
	Elektrostatischer Deflektor	Fünfstufig	Vierstufig	Vierstufig
Probenladesystem	Vakuumsystem	Vollautomatisches ölfreies Vakuumsystem
	Probenüberwachung	Horizontale Hauptkammer-Überwachungskamera; Vertikale Probenaustausch-Ladeschleusenkammer-Überwachungskamera
	Maximale Stichprobengröße	4 Zoll im Durchmesser
	Probenstadiumstyp	Motorisierter 3-Achsen-Probentisch (*optional piezoelektrisch angetriebener Probentisch)
	Probentisch-Reisebereich	X, Y: 110 mm; Z: 16 mm
	Wiederholbarkeit des Probenstadiums	Xï¼±0,6 μmï¼Yï¼±0,3 μm
	Probenaustausch	Vollautomatisch
	Probenaustauschdauer	<15 Minuten
	Reinigung der Schleusenkammer	Vollautomatisches Plasmareinigungssystem
Bilderfassung und -verarbeitung	Verweilzeit	10 ns/Pixel
	Erfassungsgeschwindigkeit	2*100 M Pixel/s
	Bildgröße	16 K*16 K
Detektor und Zubehör	Einziehbarer Rückstreuelektronendetektor mit geringem Winkel	Optional	Keine	Standard
	Rückstreuelektronendetektor mit niedrigem Winkel, unten montiert	Optional	Standard	Keine
	In-Säulen-Gesamtelektronendetektor	Standard	Optional	Optional
	In-Säulen-Hochwinkel-Rückstreuelektronendetektor	Optional	Optional	Optional
	Piezoelektrisch angetriebener Probentisch	Optional	Optional	Optional
	Hochauflösender großer FOV-Modus (SW)	Optional	Keine	Keine
	Ladeschleusenkammer-Plasma-Reinigungssystem	Optional	Optional	Optional
	6-Zoll-Probenladesystem	Optional	Optional	Optional
	Aktive Antivibrationsplattform	Optional	Optional	Optional
	Al-Rauschunterdrückung; Großflächige Feldnaht; 3D-Rekonstruktion	Optional	Optional	Optional
Benutzeroberfläche	Sprache	Englisch
	OS	Windows
	Navigation	Optische Navigation, Gestennavigation
	Automatische Funktion	Automatische Probenerkennung, automatische Auswahl des Bildbereichs, automatische Helligkeit und Kontrast, automatischer Fokus, automatischer Stigmator

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