Ultrahochauflösende Feldemissions-Rasterelektronenmikroskopie (FESEM): 0,6 nm bei 15 kV und 1,0 nm bei 1 kV
Das CIQTEK SEM5000X ultrahochauflösende FESEM nutzt den verbesserten Säulenkonstruktionsprozess, die „SuperTunnel“-Technologie und das hochauflösende Objektivlinsendesign, um die Bildauflösung bei niedriger Spannung zu verbessern.
Die Probenkammeranschlüsse des FESEM SEM5000X sind auf 16 erweiterbar, und die Probenwechsel-Ladeschleuse unterstützt Wafergrößen bis zu 8 Zoll (maximaler Durchmesser 208 mm), wodurch sich die Einsatzmöglichkeiten deutlich erweitern. Die erweiterten Scanmodi und erweiterten automatisierten Funktionen sorgen für eine stärkere Leistung und ein noch optimierteres Erlebnis.
(*Optionales Zubehör für FESEM SEM5000X)
CIQTEK FESEM SEM5000X-Spezifikationen |
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Schlüsselparameter | Auflösung |
0,6 nm bei 15 kV, SE 1,0 nm bei 1 kV, SE |
Beschleunigungsspannung | 0,02~30 kV | |
Vergrößerung | 1~2.500.000 x | |
Elektronenkanonentyp | Schottky-Feldemissions-Elektronenkanone | |
Probenkammer |
Vakuumsystem
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Vollautomatische Steuerung |
Kameras | Dual-Kameras (optische Navigation + Kammermonitor) | |
Stufentyp | Mechanischer euzentrischer 5-Achsen-Probentisch | |
Stufenbereich |
X=110 mm, Y=110 mm, Z=65 mm T: -10*~+70°, R: 360° |
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REM-Detektoren und -Erweiterungen | Standard |
In-Lens-Detektor Everhart-Thornley-Detektor (ETD) |
Optional |
Einziehbarer Rückstreuelektronendetektor (BSED) Einziehbarer Raster-Transmissionselektronenmikroskop-Detektor (STEM) Energiedispersives Spektrometer (EDS/EDX) Elektronenrückstreuungsbeugungsmuster (EBSD) Probenaustausch-Ladeschleuse (4" und 8" optional) Trackball- und Knopf-Bedienfeld Probentisch-Tandemverzögerung Magnetfeld- und Schallschutzgehäusesystem (SEMI-zertifiziert) |
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Software | Sprachen |
Englisch |
Betriebssystem |
Windows |
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Navigation |
Nav-Cam, Gesten-Schnellnavigation |
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Automatische Funktionen |
Autom. Helligkeit und Kontrast, Autofokus, Auto-Stigmator |