fesem edx

Ultrahochauflösendes FESEM | SEM5000X

Ultrahochauflösende Feldemissions-Rasterelektronenmikroskopie (FESEM): 0,6 nm bei 15 kV und 1,0 nm bei 1 kV

Das CIQTEK SEM5000X ultrahochauflösende FESEM nutzt den verbesserten Säulenkonstruktionsprozess, die „SuperTunnel“-Technologie und das hochauflösende Objektivlinsendesign, um die Bildauflösung bei niedriger Spannung zu verbessern.

Die Probenkammeranschlüsse des FESEM SEM5000X sind auf 16 erweiterbar, und die Probenwechsel-Ladeschleuse unterstützt Wafergrößen bis zu 8 Zoll (maximaler Durchmesser 208 mm), wodurch sich die Einsatzmöglichkeiten deutlich erweitern. Die erweiterten Scanmodi und erweiterten automatisierten Funktionen sorgen für eine stärkere Leistung und ein noch optimierteres Erlebnis.

CIQTEK FESEM SEM5000X-Spezifikationen

Schlüsselparameter Auflösung

0,6 nm bei 15 kV, SE

1,0 nm bei 1 kV, SE

Beschleunigungsspannung 0,02~30 kV
Vergrößerung 1~2.500.000 x
Elektronenkanonentyp Schottky-Feldemissions-Elektronenkanone
Probenkammer
Vakuumsystem
Vollautomatische Steuerung
Kameras Dual-Kameras (optische Navigation + Kammermonitor)
Stufentyp Mechanischer euzentrischer 5-Achsen-Probentisch
Stufenbereich

X=110 mm, Y=110 mm, Z=65 mm

T: -10*~+70°, R: 360°

REM-Detektoren und -Erweiterungen Standard

In-Lens-Detektor

Everhart-Thornley-Detektor (ETD)

Optional

Einziehbarer Rückstreuelektronendetektor (BSED)

Einziehbarer Raster-Transmissionselektronenmikroskop-Detektor (STEM)

Energiedispersives Spektrometer (EDS/EDX)

Elektronenrückstreuungsbeugungsmuster (EBSD)

Probenaustausch-Ladeschleuse (4" und 8" optional)

Trackball- und Knopf-Bedienfeld

Probentisch-Tandemverzögerung

Magnetfeld- und Schallschutzgehäusesystem (SEMI-zertifiziert)

Software Sprachen

Englisch

Betriebssystem

Windows

Navigation

Nav-Cam, Gesten-Schnellnavigation

Automatische Funktionen

Autom. Helligkeit und Kontrast, Autofokus, Auto-Stigmator

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