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FIB-SEM | DB550

Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop (FE-SEM) mit Focused Ion Beam (FIB)-Säulen

Das CIQTEK DB550 Focused Ion Beam Scanning Electron Microscope (FIB-SEM) verfügt über eine fokussierte Ionenstrahlsäule für die Nanoanalyse und Probenvorbereitung. Es nutzt die „Supertunnel“-Elektronenoptiktechnologie, geringe Aberration und ein nichtmagnetisches Objektivdesign und verfügt über die Funktion „Niederspannung, hohe Auflösung“, um seine Analysefähigkeiten im Nanomaßstab sicherzustellen.

Die Ionensäulen ermöglichen eine Ga+-Flüssigmetall-Ionenquelle mit hochstabilen und qualitativ hochwertigen Ionenstrahlen, um die Fähigkeit zur Nanofabrikation sicherzustellen. Der DB550 ist eine All-in-one-Nanoanalyse- und Fertigungs-Workstation mit integriertem Nanomanipulator, Gasinjektionssystem und benutzerfreundlicher GUI-Software.

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FIB-SEM features

1. „Super Tunnel“ Elektronenoptik-Säulentechnologie/In-Säulen-Strahlverzögerung

Verringern Sie den räumlichen Ladeeffekt und stellen Sie so eine Auflösungsleistung bei niedriger Spannung sicher.

2. Kreuzungsfrei im Elektronenstrahlengang

Reduzieren Sie effektiv Linsenaberrationen und verbessern Sie die Auflösung.

3. Elektromagnetische und elektrostatische Verbundobjektivlinse

Aberrationen reduzieren, die Auflösung bei niedrigen Spannungen erheblich verbessern und die Beobachtung magnetischer Proben ermöglichen.

4. Wassergekühlte Objektivlinse mit konstanter Temperatur

Stellen Sie die Stabilität, Zuverlässigkeit und Wiederholbarkeit der Objektivlinsenleistung sicher.

5. Variables Mehrloch-Aperturschaltsystem durch elektromagnetische Strahlablenkung

Automatisches Umschalten zwischen Blenden ohne mechanische Bewegung ermöglicht schnelles Umschalten zwischen verschiedenen Bildgebungsmodi.

Technische Highlights des CIQTEK DB550 FIB-SEM

FIBSEM - Focused Ion Beam Column

Focused Ion Beam (FIB)-Säule

Auflösung: 3 nm bei 30 kV

Sondenstrom: 1 pA bis 65 nA

Beschleunigungsspannungsbereich: 0,5 kV bis 30 kV

Austauschintervall der Ionenquelle: ≥1000 Stunden

Stabilität: 72 Stunden ununterbrochener Betrieb


FIBSEM - Nano-manipulator

Nano-Manipulator

Kammer innenmontiert

Dreiachsiger rein piezoelektrischer Antrieb

Schrittmotorgenauigkeit ≤10 nm

Maximale Fahrgeschwindigkeit 2 mm/s

Integriertes Steuerungssystem


FIBSEM - Ion Beam-Electron Beam Collaboration

Ionenstrahl-Elektronenstrahl-Kollaboration


FIBSEM - Gas Injection System

Gasinjektionssystem

Einzelnes GIS-Design

Verschiedene Gasvorläuferquellen verfügbar

Nadeleinstichabstand ≥35 mm

Bewegungswiederholgenauigkeit ≤10 μm

Wiederholgenauigkeit der Heizungstemperaturregelung ≤0,1°C

Heizbereich: Raumtemperatur bis 90 °C (194°F)

Integriertes Steuerungssystem

Halbleiter

In der Halbleiterindustrie kann es bei IC-Chips zu verschiedenen Ausfällen kommen. Um die Zuverlässigkeit zu verbessern, werden verschiedene Methoden zur Analyse der Chips eingesetzt. Insbesondere die fokussierte Ionenstrahlanalyse (FIB) ist eine zuverlässige Analysetechnik.

Probencharakterisierung / Mikro-Nano-Herstellung / Querschnittsanalyse / TEM-Probenvorbereitung / Fehleranalyse

Neue Energiewirtschaft

Beobachtung und Analyse von Materialquerschnitten für Forschung und Prozessentwicklung.

Morphologiebeobachtung / Partikelgrößenanalyse / Querschnittsanalyse / Zusammensetzung und Phasenanalyse / Fehleranalyse von Lithium-Ionen-Batteriematerial / TEM-Proben-PReparatur

Keramikmaterial

Materialanalyse: Das FIB-SEM-System kann eine hochpräzise Mikro-Nano-Bearbeitung und Bildgebung von Keramikmaterialien durchführen, kombiniert mit verschiedenen Signalerkennungsmodi wie Rückstreuelektronen (BSE) und energiedispersiver Röntgenspektroskopie (EDX). , Elektronenrückstreuungsmuster (EBSD) und Sekundärionenmassenspektrometrie (SIMS), um das Material im Mikro- bis Nanomaßstab mit dreidimensionalem Raum in der Tiefe zu untersuchen.

Legierungsmaterial

Um die Festigkeit, Härte, Zähigkeit usw. von Metallen zu erhöhen, werden dem Metall mithilfe von Methoden wie Metallurgie, Gießen, Extrudieren usw. andere Substanzen wie Keramik, Metalle, Fasern usw. hinzugefügt werden verstärkte Phasen genannt.

Mit einem FIB-SEM präparierte TEM-Proben werden verwendet, um Informationen wie verstärkte Phasen und Grenzatome durch übertragene Elektronensignale zu beobachten. TEM-Proben können für die Transmissions-Kikuchi-Beugungsanalyse (TKD), metallografische Analyse, Zusammensetzungsanalyse und In-situ-Prüfung des Legierungsquerschnitts verwendet werden.

ⶠGrafische Benutzeroberfläche

FIB-SEM software

Hochintegrierte Benutzeroberflächenplattform

Die Bildgebungs- und Verarbeitungsfunktionen des REM-Mikroskops sind in eine Gesamtbenutzeroberfläche integriert, wobei links und rechts Vergleichsreferenzen angezeigt werden.

FIB-SEM software

Selbst entwickelte Zubehör-Hardware und Benutzeroberflächen wie Gasinjektionssystem und Nano-Manipulator, intuitives Layout-Design für benutzerfreundliche Bedienung.

ⶠEverhart-Thornley-Detektor (ETD)

ⶠIn-Lens-Elektronendetektor

ⶠEinziehbarer Rückstreuelektronendetektor (BSED) *Optional

ⶠScanning Transmission Electron Microscopy Detector (STEM) *Optional

  • Scanning Transmission Electron Microscopy Detector (STEM)

ⶠProbenaustausch-Ladeschleuse

Reduziert effektiv die Kontamination der Kammer. Lineares Führungsschienendesign, schubladenartiges Öffnen und Schließen.

  • Specimen Exchange Loadlock

ⶠFortschritte in der CIQTEK-Elektronenmikroskopie – mehr Optionen

Energiedispersive Spektrometrie

  • Energy Dispersive Spectrometry

Katholumineszenz

  • sem image analysis -Catholuminescence
  • sem image analysis - Catholuminescence

EBSD

  • sem EBSD
  • sem EBSD

CIQTEK FIB-SEM DB550-Spezifikationen
Elektronenoptik Elektronenkanonentyp Hochhelle Schottky-Feldemissions-Elektronenkanone
Auflösung 0,9 nm bei 15 kV; 1,6 nm bei 1 kV
Beschleunigungsspannung 0,02 kV bis 30 kV
Ionenstrahlsystem Ionenquellentyp Gallium
Auflösung 3 nm bei 30 kV
Beschleunigungsspannung 0,5 kV bis 30 kV
Probenkammer Vakuumsystem Vollautomatische Steuerung, ölfreies Vakuumsystem
Kameras

Drei Kameras

(Optische Navigation x1 + Kammermonitor x2)
Bühnentyp Motorisierter 5-Achsen-mechanischer euzentrischer Probentisch
Stufenbereich

X=110 mm, Y=110 mm, Z=65 mm

T: -10°~+70°, R:360°
SEM-Detektoren und Erweiterungen Standard

In-Lens-Elektronendetektor

Everhart-Thornley-Detektor (ETD)
Optional

Einziehbarer Rückstreuelektronendetektor (BSED)

Einziehbarer Raster-Transmissionselektronenmikroskop-Detektor (STEM)

Energiedispersives Spektrometer (EDS/EDX)

Elektronenrückstreuungsbeugungsmuster (EBSD)

Nano-Manipulator

Gasinjektionssystem

Plasmareiniger

Probenaustausch-Ladeschleuse

Trackball- und Knopf-Bedienfeld
Benutzeroberfläche Sprachen Englisch
Betriebssystem Windows
Navigation Optische Navigation, Gesten-Schnellnavigation
Automatische Funktionen Autom. Helligkeit und Kontrast, Autofokus, Auto-Stigmator
Heiße Tags : Globaler Lieferant von fokussierten Ionenstrahl-Rasterelektronenmikroskopen Weltweiter Lieferant von FIB-Rasterelektronenmikroskop-Herstellern FIB SEM FE SEM Bester Preis zu verkaufen FIB SEM FE SEM PDF-Anwendungshinweise Folien SEM-Bildanalyse mit Focused Ion Beam (FIB) FIB SEM Detektor EBSD BSED STEM EDS ETD Inlens Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop mit einer fokussierten Ionenstrahlsäule Einführung in das fokussierte Ionenstrahl-REM
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