ⶠDoppelanodenstruktur an der Elektronenkanone *Optional
Intermittierende Anode
Die intermittierende Anode wird zwischen der Kathodenbaugruppe und der Anode installiert. Bei niedriger Anregungsspannung kann die Extraktionseffizienz des Elektronenstrahls verbessert, die Auflösung um 10 % erhöht und das Signal-Rausch-Verhältnis um 30 % erhöht werden.
Bei Kohlenstoffmaterialproben ist die Eindringtiefe des Strahls bei niedrigen Anregungsspannungen gering, was die Erfassung der wahren Oberflächenmorphologieinformationen mit detaillierteren Details der Probe ermöglicht.
Bei Polymerfaserproben verursachen hohe Anregungsspannungen Strahlschäden an der Probe, während Niederspannungsstrahlen die Erhaltung von Oberflächendetails ohne Beschädigung ermöglichen.
ⶠNiedervakuum-REM-Modus
Das CIQTEK SEM3200 REM-Mikroskop unterstützt zweistufige Niedervakuummodi: Ein Kammerdruck von 5 bis 180 Pa kann ohne druckbegrenzende Öffnung erreicht werden, und mit PLA sind 180 bis 1000 Pa erreichbar. Die speziell entwickelte Objektivlinsen-Vakuumkammer minimiert die mittlere freie Weglänge der Elektronen im Tiefvakuum und hält die Auflösung bei 3 nm bei 30 kV.
Der einfallende Elektronenstrahl ionisiert die Luftmoleküle auf der Oberfläche und erzeugt Elektronen und Ionen, wobei die Ionen die auf der Probenoberfläche erzeugten geladenen Teilchen neutralisieren und so den Effekt der Ladungsminderung erzielen.
Die Sekundärelektronenemission von der Probenoberfläche ionisiert Luftmoleküle und erzeugt gleichzeitig Elektronen, Ionen und Fotosignale. Die erzeugten Elektronen ionisieren dann andere Luftmoleküle und eine große Anzahl von Fotosignalen wird erzeugt und dann von einem Niedervakuumdetektor (LVD) erfasst.
Im Hochvakuummodus erfasst LVD direkt das von der Probe emittierte Kathodolumineszenzsignal, das für die Kathodolumineszenzbildgebung erfasst werden kann, bei gleichzeitiger Bildgebung vom BSED-Kanal.
ⶠOptische Navigation
Die Verwendung einer vertikal montierten Kammerkamera zur Erfassung optischer Bilder für die Probentischnavigation ermöglicht eine intuitivere und genauere Probenpositionierung.
â¶Intelligent Assisted Image Astigmatism Correction
In diesem Modus variiert der Astigmatismuswert von X und Y je nach Pixel. Die Bildschärfe wird beim optimalen Astigmatismuswert maximiert, was eine schnelle Stigmatoranpassung ermöglicht.
ⶠAutofunktionen
Verbesserte Funktionen für automatische Helligkeit und Kontrast, automatischen Fokus und automatische Astigmatismuskorrektur. Bildgebung mit nur einem Klick!
Automatischer Fokus
Automatische Astigmatismuskorrektur
Automatische Helligkeit und Kontrast
ⶠSicherer in der Anwendung
ⶠEinfacher Filamentaustausch
Vorausgerichtetes Ersatz-Filamentmodul, einsatzbereit.
