fesem edx

Ultrahohe Resem | SEM5000X

Ultrahohe-Auflösungs-Feldemissions-Rasterelektronenmikroskopie (FESEM)

Der CIQTEK SEM5000X ist ein ultrahohes Auflösungsfesem mit optimiertem Säulendesign der Elektronenoptik, wodurch die Gesamtaberrationen um 30%reduziert werden und eine ultrahohe Auflösung von 0,6 nm bei 15 kV und 1,0 nm@1 kV erreicht werden Seine hohe Auflösung und Stabilität machen es in fortschrittlicher Forschung für fortgeschrittene Nanostrukturmaterialien sowie die Entwicklung und Herstellung von hochtechnologischen Knoten-Halbleiter-IC-Chips vorteilhaft.

●–¶ Elektronenoptik

SEM5000X Electron Optics

Objektives Objektiv -Upgrade

Die chromatische Abweichung der Linsen wurde um 12%verringert, die kugelförmige Aberration der Linsen um 20%reduziert und die Gesamtaberration um 30%verringert

SEM5000X Electron Optics

Doppelstrahl -Verzögerungstechnologie

In-Lens-Strahl-Verzögerung, anwendbar für Proben mit großen Volumina, Querschnitten und unregelmäßigen Oberflächen Doppelte Verzögerungstechnologie (In-Lens-Strahl-Verzögerung + Probenstadium Tandem Strahl-Verzögerung) stellt die Grenzen der Szenarien der Probenoberflächen-Signal-Kapitur in Frage


●–¶ Niedrige Spannungsbilder


●–¶ Elektronendetektor / Exemplar in Objektiven


●–¶ Everhart-Thornley-Detektor (ETD)


●–¶ Einziehbarer Rückstreuungselektronendetektor (BSED)*Optional

FESEM Retractable Back-Scattered Electron Detector (BSED)

●–¶ BSED-basiertes ECCI-Modus (Elektronenkanal-Kontrastbildgebung)

Der "Elektronenkanal -Effekt" bezieht sich auf eine signifikante Verringerung der Elektronenstreuung durch Kristallgitter, wenn der Elektronenstrahl der vor einfachen Elektronenstrahl den Bragg -Beugungszustand erfüllt, sodass eine große Anzahl von Elektronen das Gitter durchläuft und somit einen "Kanaling" -Effekt aufweist

Bei polykristallinen Materialien mit gleichmäßiger Zusammensetzung und polierten flachen Oberflächen beruht die Intensität der zurückgestrahlten Elektronen auf der relativen Ausrichtung zwischen dem einfallenden Elektronenstrahl und den Kristallebenen Körner mit größerer Orientierungsvariation weisen stärkere Signale auf, daher wird hellere Bilder, eine qualitative Charakterisierung mit einer solchen Kornorientierungskarte


●–¶ Gleichzeitig über verschiedene Detektoren Multi-Channel-Bildgebung


●–¶ STEM -Detektor (Ressourcen

FESEM Retractable Scanning Transmission Electron Microscopy (STEM) Detector

>> Mehrere Betriebsmodi: Bildgebung des Hellfeldbildes (BF)


●–¶ Fortschritte in der CIQTEK -Elektronenmikroskopie - Mehr Optionen

>> Energiedispersive Spektrometrie

  • Energy Dispersive Spectrometry

>>Katholumineszenz

  • sem image analysis -Catholuminescence
  • sem image analysis - Catholuminescence

>>EBSD

  • sem EBSD
  • sem EBSD

●–¶ Partikel- und Porenanalyse -Software (Partikel) *Optional

SEM Particle & Pore Analysis Software (Particle)

Die CIQTEK -SEM -Microskop -Software verwendet verschiedene Algorithmen für Zielerkennungs- und Segmentierungsalgorithmen, die für verschiedene Arten von Partikel- und Porenproben geeignet sind Es ermöglicht eine quantitative Analyse der Partikel- und Porenstatistik und kann in Bereichen wie Materialwissenschaft, Geologie und Umweltwissenschaften angewendet werden


●–¶ Bild-Nachbearbeitungssoftware*Optional

SEM Microscope Image Post-processing Software

Führen Sie Online- oder Offline-Bild-Nachbearbeitung für Bilder durch, die von Elektronenmikroskopen aufgenommen wurden, und integrieren Sie häufig verwendete EM-Bildverarbeitungsfunktionen, bequeme Messungen und Annotationstools


●–¶ Auto -Maßnahme *Optional

SEM Microscope software Auto Measure

Automatische Erkennung von Kanten der Linienbreite, was zu genaueren Messungen und einer höheren Konsistenz führt Unterstützen Sie mehrere Kantenerkennungsmodi wie Linie, Raum, Tonhöhe usw., die mit mehreren Bildformaten kompatibel und mit verschiedenen häufig verwendeten Bild-Nachbearbeitungsfunktionen ausgestattet sind Die Software ist einfach zu bedienen, effizient und genau


●–¶ Softwareentwicklungskit (SDK) *Optional

SEM Microscope Software Development Kit (SDK)

Geben Sie eine Reihe von Schnittstellen zur Steuerung des SEM -Mikroskops an, einschließlich Bildaufnahmen, Einstellungen für Betriebsbedingungen, Ein-/Aus -Stufe, Bühnensteuerung usw Die Definitionen für konzipierte Schnittstellen ermöglichen die schnelle Entwicklung spezifischer Elektronenmikroskopbetriebskripte und Software, die automatisierte Verfolgung von Interessen, industriellen Automatisierungsdatenerfassungen, Bilddriftkorrekturen sowie andere Funziktionen ermöglichen Kann für die Softwareentwicklung in speziellen Bereichen wie Kieselalgenanalyse, Inspektion von Stahlverunreinigungen, Sauberkeitsanalyse, Rohstoffkontrolle usw verwendet werden


●–¶ Automap *Optional

FESEM Microscope software Auto Measure

CIQTEK SEM5000X FESEM -Mikroskopspezifikationen
ElektronenoptikAuflösung0,6 nm @ 15 kv, se
1,0 nm @ 1 kv, se
Beschleunigungsspannung0 02KV ~ 30 kV
Vergrößerung1 ~ 2,500.000 x
ElektronenpistolenartSchottky Field Emission Electron Gun
ProbenkammerKamerasDualkameras (optische Navigation + Kammermonitor)
Bühnenart5-Achsen-mechanische eucentrische Probenstufe
BühnenbereichX = 110 mm, y = 110 mm, z = 65 mm
T: -10*~+70 °, r: 360 °
SEM -Detektoren und ErweiterungenStandardIn-Lens-Detektor
Everhart-Thornley-Detektor (ETD)
Optional

Einziehbarer Rückstreuungselektronendetektor (BSED)

Einziehbarer Scan -Transmissionselektronenmikroskopie -Detektor (STEM)

Niedriger Vakuumdetektor (LVD)

Energie dispergierendes Spektrometer (EDS / EDX)

Elektronen -Rückstreuungs -Beugungsmuster (EBSD)

Probenaustauschlastklein (4 Zoll / 8 Zoll)

Trackball & Knob -Bedienfeld

Duo-Dec-Modus (Duo-Dec)

BenutzeroberflächeSprachenEnglisch
BetriebssystemFenster
NavigationOptische Navigation, Geste Quick Navigation, Trackball (optional)
Automatische FunktionenAutohelligkeit und Kontrast, Autofokus, Auto Stigmator

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