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Hochauflösende Feldemissions-SEM-Analyse von Halbleiter-Metall-Grenzflächen

Jun 27 , 2025

Die Schnittstelle zwischen Halbleitermaterialien und Metallelektroden spielt eine entscheidende Rolle für die Leistung elektronischer Geräte. Oberflächenmorphologie, chemische Zusammensetzung und elektronische Struktur an der Schnittstelle wirken sich direkt auf Schlüsselfaktoren wie Leitfähigkeit, Stabilität und Gesamtzuverlässigkeit des Geräts aus. Daher ist eine umfassende Charakterisierung der...

Stichworte : Feldemissions-REM für Halbleiter SEM für die elektronische Materialforschung Hochauflösendes FE-SEM
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