Das CIQTEK DB550 Dual-Beam-FIB-SEM vereint hochauflösende Elektronenbildgebung und präzise Ionenstrahlbearbeitung auf einer einzigen Plattform.
CIQTEK hat seine DB550 Fokussiertes Ionenstrahl-Rasterelektronenmikroskop (FIB-SEM) an realen Chipproben mit 5-nm-Prozessknoten, Die Ergebnisse demonstrieren die produktionsreife TEM-Probenpräparation mit intakten Finnenstrukturen, keinerlei Amorphisierung und klar aufgelösten Filmschichten. Sie bestätigen, dass das DB550 die hohen Anforderungen fortschrittlicher Labore für Halbleiterfehleranalyse erfüllt, die an der Spitze der Prozesstechnologie arbeiten.
In der modernen Chipforschung und -fertigung sind zwei Werkzeuge von entscheidender Bedeutung. Das Transmissionselektronenmikroskop (TEM) ermöglicht die Betrachtung von Strukturen auf atomarer Ebene. Doch bevor man diese Strukturen untersuchen kann, benötigt man eine Probe, die dünn genug ist, damit Elektronen sie durchdringen können. Hier kommt das Dual-Beam-FIB-SEM zum Einsatz. Es ist die Präzisionswerkstatt, die diese ultradünnen Proben präpariert.
Lernen Sie die DB550 kennen: Eine Plattform für Bildgebung und Nanotechnologie
Der CIQTEK DB550 FIB-SEM Das System vereint zwei leistungsstarke Technologien auf einer einzigen Plattform. Zum einen liefert ein Rasterelektronenmikroskop (REM) hochauflösende Oberflächenbilder. Zum anderen ermöglicht ein fokussierter Ionenstrahl (FIB) die präzise Abtragung von Nanomaterialien. Gemeinsam schließen sie die Lücke zwischen Beobachtung und Fertigung im Milliardstel-Meter-Bereich.
Das Herzstück des DB550 bildet ein Niederspannungs-, hochauflösende Elektronensäule in Kombination mit CIQTEKs proprietärer "Chengying"-Ionensäule Die vollständig im eigenen Haus entwickelte Chengying-Säule ist das Herzstück des Systems und ermöglicht dessen Nano-Schneid- und Ätzverfahren. CIQTEK kontrolliert den gesamten Design- und Fertigungsprozess dieser kritischen Komponente.
Die 5-nm-Herausforderung: Warum die Probenpräparation mit jedem Strukturschritt schwieriger wird
Bei 5 nm und darunter Chiparchitekturen basieren auf FinFETs (Fin-Feldeffekttransistoren) mit Finbreiten und -abständen im Nanometerbereich. Der DB550 ist für den gesamten Probenpräparations-Workflow dieser anspruchsvollen Prozessknoten ausgelegt. Er beginnt mit Schruppschneiden mit hohem Strom um schnell grobes Material zu entfernen und den Zielbereich zu erreichen. Dann geht es in den nächsten Schritt über. Niederspannungs-Feinpolieren Die Probe auf TEM-geeignete Abmessungen auszudünnen, ohne die darunter liegenden empfindlichen Strukturen zu beschädigen.
TEM-Validierung: Der Beweis liegt im Bild
CIQTEK Wir haben eine Chipprobe mit 5-nm-Prozessknoten auf dem DB550 hergestellt und sie zur Charakterisierung in ein TEM überführt. Die Ergebnisse sprechen für sich.
Die TEM-Charakterisierung einer auf dem DB550 hergestellten 5-nm-Chipprobe zeigt intakte Finnenstrukturen mit klaren, wohldefinierten Filmschichten und keinen Amorphisierungsschäden.
Die TEM-Aufnahmen zeigten, dass die Die Flossenstrukturen blieben vollständig intakt. Nach der FIB-Präparation war keine Amorphisierung im Siliziumkristallgitter nachweisbar. Die einzelnen Filmschichten erschienen klar und scharf definiert im TEM-Querschnitt. Diese Ergebnisse bestätigen die Leistungsfähigkeit des DB550 bei der Probenpräparation mit zwei Strahlen auf den modernsten Prozessknoten.
Entwickelt für Zuverlässigkeit, gebaut für die Ewigkeit.
Elektronenmikroskope sind das wichtigste Werkzeug in Laboren zur Halbleiterfehleranalyse. CIQTEK entwickelt das DB550 von Grund auf und deckt dabei den gesamten Technologie-Stack ab. Kernhardware zu zugrunde liegenden Algorithmen Die firmeneigene Chengying-Ionensäule, die Elektronenoptik, die Bühnenmechanik und die Steuerungssoftware sind als integriertes System konzipiert und optimiert.
Der Besitz des vollständigen Designs stärkt die Resilienz der Lieferkette. Jede kritische Komponente wird über die kontrollierte Entwicklungspipeline von CIQTEK beschafft. Für Halbleiterlabore, die auf die Verfügbarkeit ihrer Geräte für die Produktionsausbeuteanalyse und Fehleruntersuchungen angewiesen sind, ist diese Vorhersagbarkeit von entscheidender Bedeutung.
CIQTEK unterstützt den DB550 mit kontinuierlicher, zuverlässiger und reaktionsschneller technischer Support Das Unternehmen bietet außerdem Anwendungsunterstützung, um Laboren bei der Entwicklung und Optimierung von Präparationsrezepten für neue Prozessknoten und neuartige Gerätearchitekturen zu helfen.
