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Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop | SEM5000

CIQTEK SEM5000 ist ein Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop mit hochauflösender Bildgebung und Analysefähigkeit, unterstützt durch zahlreiche Funktionen, profitiert vom fortschrittlichen Elektronenoptik-Säulendesign, mit Hochdruck-Elektronenstrahl-Tunneltechnologie (SuperTunnel), geringer Aberration und Nicht-Eintauchen Die Objektivlinse ermöglicht eine hochauflösende Bildgebung bei niedriger Spannung und die magnetische Probe kann ebenfalls analysiert werden.

Mit optischer Navigation, automatisierten Funktionen, einer sorgfältig gestalteten Benutzeroberfläche für die Mensch-Computer-Interaktion und einem optimierten Betriebs- und Nutzungsprozess können Sie unabhängig davon, ob Sie ein Experte sind oder nicht, schnell loslegen und hochauflösende Bildgebungs- und Analysearbeiten abschließen.

 

• Hochauflösende Bildgebung bei niedriger Beschleunigungsspannung.

• Das elektromagnetische Verbundobjektiv verbessert die Niederspannungsauflösung und ermöglicht die Beobachtung magnetischer Proben.

• Hochdruck-Tunneltechnologie (SuperTunnel) sorgt für niedrige Spannungsauflösung.

• Der elektronische Strahlengang ohne Kreuzung reduziert wirksam die Systemfehler und verbessert die Auflösung.

• Wassergekühlte Objektivlinse mit konstanter Temperatur, um die Stabilität, Zuverlässigkeit und Wiederholbarkeit der Objektivlinsenfunktion sicherzustellen.

• Magnetisch abgelenktes Sechs-Loch-Apertursystem mit automatisch umschaltbaren Aperturen, keine mechanische Einstellung erforderlich, ermöglicht hochauflösende Bildgebung oder einen Analysemodus für große Strahlen durch schnelles Umschalten per Mausklick.

 

Schlüsselparameter Auflösung

0,9 nm bei 15 kV, SE

1,3 nm bei 1,0 kV, SE

0,8 nm bei 30 kV, STEM

Beschleunigungsspannung 20 V ~ 30 kV
Vergrößerung 1 ~ 2.500.000 x
Elektronenkanonentyp Hochhelle Schottky-Feldemissions-Elektronenkanone
Probenkammer Vakuumsystem Vollautomatische Steuerung, ölfreies Vakuumsystem
Kamera Dual-Kameras (optische Navigation + Kammermonitor)
Bühnenbereich

X: 125 mm, Y: 125 mm, Z: 50 mm

T: -10°~ +90°, R: 360°

(*Optionale Version mit extragroßer Kammer verfügbar)

Detektoren und Erweiterungen Standard

Inlens SE-Detektor

Everhart-Thornley-Detektor (ETD)

Optional

Mittelwinkel-Rückstreuelektronendetektor mit flacher Einfügung

Automatischer einziehbarer Scan-Transmissionselektronendetektor STEM

Probenaustausch-Ladungsschleuse

Schneller Strahlaustaster

Energiedispersive Spektroskopie (EDS/EDX)

Elektronenrückstreubeugungsmuster (EBSD)

Elektronenstrahlinduzierter Strom (EBIC)

Kathodolumineszenz (CL)

In-situ-Zugbühne

Nano-Manipulator

Großflächiges Zusammenfügen von Bildern

Trackball- und Knopf-Bedienfeld

Software Sprache Englisch
Betriebssystem Windows
Navigation Nav-Cam, Gestennavigation
Automatische Funktionen Automatische Helligkeit und Kontrast, Autofokus, automatischer Stigmator

 

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