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CIQTEK is the manufacturer and global supplier of high-value scientific instruments, such as Scanning Electron Microscopes (SEMs), Electron Paramagnetic Resonance (Electron Spin Resonance) Spectroscopy, Scanning NV Probe Microscope, Gas Adsorption Analyzer, etc.
SEM Imaging analysis with Focused Ion Beam (FIB)
SEM Imaging analysis with Focused Ion Beam (FIB)

Fokussiertes Ionenstrahl-Rasterelektronenmikroskop | DB500

CIQTEK DB500 ist ein Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop mit einer fokussierten Ionenstrahlsäule für die Nanoanalyse und Probenvorbereitung, das mit „SuperTunnel“-Technologie, geringer Aberration und magnetfreiem Objektivdesign, niedriger Spannung und hoher Auflösung ausgestattet ist Fähigkeit, die seine analytische Fähigkeit im Nanomaßstab gewährleistet. Die Ionensäule ermöglicht eine Ga+-Flüssigmetall-Ionenquelle mit einem äußerst stabilen und hochwertigen Ionenstrahl, um die Fähigkeit zur Nanofertigung sicherzustellen.

 

DB500 ist mit einem integrierten Nanomanipulator, einem Gasinjektionssystem, einem elektrischen Antikontaminationsmechanismus für die Objektivlinse und 24 Erweiterungsanschlüssen ausgestattet, was es zu einer umfassenden Nanoanalyse- und Fertigungsplattform mit umfassenden Konfigurationen und Erweiterbarkeit macht.

• „SuperTunnel“-Elektronenoptik-Technologie mit magnetfreier Objektivlinse, geeignet für hochauflösende Bildgebung und kompatibel mit magnetischer Probenbildgebung.

Die fokussierte Ionenstrahlsäule, die einen äußerst stabilen, hochwertigen Ionenstrahl ausgibt, geeignet für hochwertige Nanofertigung und TEM-Probenvorbereitung.

Ein piezoelektrisch angetriebener Manipulator im Probenraum mit integrierter Steuerung für präzise Handhabung.

Eigenständig entwickeltes System mit starker Erweiterbarkeit. Das integrierte Ionenquellen-Baugruppendesign ermöglicht einen schnellen Austausch der Ionenquelle. Exzellenter Service, unterstützt durch eine im Lieferumfang enthaltene dreijährige Garantie.

Fokussierte Ionenstrahlsäule

Auflösung: 3 nm bei 30 KV

Sondenstrom (Ionenstrahlstrombereich): 1 pA~50 nA

Beschleunigungsspannungsbereich: 500 V~30 kV

Austauschintervall der Ionenquelle: ≥1000 Stunden

Stabilität: 72 Stunden ununterbrochener Betrieb


Nano-Manipulator

Kammer innenmontiert

Dreiachsig, rein piezoelektrisch angetrieben

Schrittmotorgenauigkeit ≤10 nm

Maximale Fahrgeschwindigkeit 2 mm/s

Integrierte Steuerung


 

 

Ionenstrahl-Elektronenstrahl-Kollaboration

 


Gasinjektionssystem

Einzelnes GIS-Design

Es stehen verschiedene Gasvorläuferquellen zur Verfügung

Nadeleinstichabstand ≥35 mm

Bewegungswiederholgenauigkeit ≤10 μm

Wiederholgenauigkeit der Heizungstemperaturregelung ≤0,1 °C

Heizbereich: Raumtemperatur ~ 90 °C

Integrierte Steuerung

Elektronenstrahlsystem Elektronenkanonentyp Hochhelle Schottky-Feldemissions-Elektronenkanone
Auflösung 1,2 nm bei 15 kV
Beschleunigungsspannung 20 V~30 kV
Ionenstrahlsystem Ionenquellentyp Flüssige Galliumionenquelle
Auflösung 3 nm bei 30 kV
Beschleunigungsspannung 500 V ~ 30 kV
Probenkammer Vakuumsystem Vollautomatische Steuerung, ölfreies Vakuumsystem
Kameras

Drei Kameras

(Optische Navigation + Kammermonitor x2)

Bühnentyp 5-Achsen-mechanischer euzentrischer Probentisch
Bühnenbereich

X=110 mm, Y=110 mm, Z=65 mm

T: -10°~+70°, R:360°

Detektoren und Erweiterungen Standard

In-Lens-Detektor

Everhart-Thornley-Detektor (ETD)

Optional

Einziehbarer Rückstreuelektronendetektor (BSED)

Einziehbarer Rastertransmissionselektronenmikroskopie-Detektor (STEM)

Energiedispersives Spektrometer (EDS)

Elektronenrückstreubeugungsmuster (EBSD)

Nano-Manipulator

Gasinjektionssystem

Plasmareiniger

Probenaustausch-Ladungsschleuse

Trackball- und Knopf-Bedienfeld

Software Sprachen Englisch
Betriebssystem Windows
Navigation Nav-Cam, Gesten-Schnellnavigation
Automatische Funktionen Automatische Helligkeit und Kontrast, Autofokus, automatischer Stigmator
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