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FIB-SEM | DB550

Ga+ Fokussiertes Ionenstrahl-Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop

Der CIQTEK DB550 Fokussiertes Ionenstrahl-Rasterelektronenmikroskop (FIB-SEM) verfügt über eine fokussierte Ionenstrahlsäule für die Nanoanalyse und Probenvorbereitung. Es nutzt die Supertunnel-Elektronenoptik-Technologie, geringe Aberration und ein nichtmagnetisches Objektivdesign. Die Funktion „Niedrigspannung, hohe Auflösung“ gewährleistet die analytischen Fähigkeiten im Nanomaßstab.

Die Ionensäulen ermöglichen eine Ga+-Flüssigmetallionenquelle mit hochstabilen und hochwertigen Ionenstrahlen, um die Nanofabrikation zu gewährleisten. Der DB550 ist eine All-in-One-Workstation für Nanoanalyse und -fertigung mit integriertem Nanomanipulator, Gasinjektionssystem und benutzerfreundlicher GUI-Software.

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FIB-SEM features

1. „Super Tunnel“ " Elektronenoptik-Säulentechnologie/Säuleninterne Strahlverzögerung

Verringern Sie den räumlichen Ladeeffekt und stellen Sie so eine Auflösungsleistung bei niedriger Spannung sicher.

2. Crossover-frei im Elektronenstrahlweg

Reduzieren Sie effektiv Linsenaberrationen und verbessern Sie die Auflösung.

3. Elektromagnetische und elektrostatische zusammengesetzte Objektivlinse

Reduzieren Sie Aberrationen, verbessern Sie die Auflösung bei niedrigen Spannungen erheblich und ermöglichen Sie die Beobachtung magnetischer Proben.

4. Wassergekühlte Objektivlinse mit konstanter Temperatur

Gewährleisten Sie die Stabilität, Zuverlässigkeit und Wiederholbarkeit der Objektivleistung.

5. Variables Mehrlochblenden-Umschaltsystem durch elektromagnetische Strahlablenkung

Das automatische Umschalten zwischen Blenden ohne mechanische Bewegung ermöglicht ein schnelles Umschalten zwischen verschiedenen Bildgebungsmodi.

Technische Highlights des CIQTEK DB550 FIB-SEM

FIBSEM - Focused Ion Beam Column

Fokussierte Ionenstrahlsäule (FIB)

Auflösung: 3 nm bei 30 kV

Sondenstrom: 1 pA bis 65 nA

Beschleunigungsspannungsbereich: 0,5 kV bis 30 kV

Ionenquellen-Austauschintervall: ≥1000 Stunden

Stabilität: 72 Stunden ununterbrochener Betrieb


FIBSEM - Nano-manipulator

Nano-Manipulator

Kammer innen montiert

Dreiachsiger, rein piezoelektrischer Antrieb

Schrittmotorgenauigkeit ≤10 nm

Maximale Verfahrgeschwindigkeit 2 mm/s

Integriertes Steuerungssystem


FIBSEM - Ion Beam-Electron Beam Collaboration

Ionenstrahl-Elektronenstrahl-Zusammenarbeit


FIBSEM - Gas Injection System

Gaseinspritzsystem

Einzelnes GIS-Design

Verschiedene Gasvorläuferquellen verfügbar

Nadeleinführtiefe ≥35 mm

Bewegungswiederholgenauigkeit ≤10 μm

Wiederholgenauigkeit der Heiztemperaturregelung ≤0,1 °C

Heizbereich: Raumtemperatur bis 90°C (194 °F )

Integriertes Steuerungssystem

>> Halbleiter

In der Halbleiterindustrie können IC-Chips verschiedene Fehler aufweisen. Um die Zuverlässigkeit der Chips zu verbessern, werden verschiedene Methoden zur Analyse eingesetzt. Insbesondere die fokussierte Ionenstrahlanalyse (FIB) ist ein zuverlässiges Analyseverfahren.

Probencharakterisierung / Mikro-Nano-Fertigung / Querschnittsanalyse / TEM-Probenvorbereitung / Fehleranalyse

>> Neue Energiebranche

Betrachtung und Analyse von Werkstoffquerschnitten für Forschung und Prozessentwicklung.

Morphologische Beobachtung / Partikelgrößenanalyse / Querschnittsanalyse / Zusammensetzungs- und Phasenanalyse / Fehleranalyse von Lithium-Ionen-Batteriematerial / TEM-Probe P Wiedergutmachung

>> Keramikmaterial

Materialanalyse: Das FIB-SEM-System kann hochpräzise Mikro-Nano-Bearbeitung und Bildgebung von Keramikmaterialien durchführen, kombiniert mit verschiedenen Signalerkennungsmodi wie Rückstreuelektronen (BSE), energiedispersiver Röntgenspektroskopie (EDX), Elektronen-Rückstreu-Beugungsmuster (EBSD) und Sekundärionen-Massenspektrometrie (SIMS), um das Material im Mikro- bis Nanomaßstab im dreidimensionalen Raum eingehend zu untersuchen.

>> Legierungsmaterial

Um die Festigkeit, Härte, Zähigkeit usw. von Metallen zu erhöhen, werden dem Metall mithilfe von Methoden wie Metallurgie, Gießen, Extrusion usw. andere Substanzen wie Keramik, Metalle, Fasern usw. hinzugefügt, die als verstärkte Phasen bezeichnet werden.

Mit einem FIB-SEM hergestellte TEM-Proben dienen zur Beobachtung von Informationen wie verstärkten Phasen und Grenzatomen durch transmittierte Elektronensignale. TEM-Proben können für die Transmissions-Kikuchi-Beugungsanalyse (TKD), metallografische Analysen, Zusammensetzungsanalysen und In-situ-Prüfungen von Legierungsquerschnitten verwendet werden.

▶ Grafische Benutzeroberfläche

FIB-SEM software

Hochintegrierte Benutzeroberflächenplattform

Die Bildgebungs- und Verarbeitungsfunktionen des SEM-Mikroskops sind in eine umfassende Benutzeroberfläche integriert, wobei links und rechts Vergleichsreferenzen angezeigt werden.

FIB-SEM software

Selbst entwickelte Zubehörhardware und Benutzeroberflächen wie Gasinjektionssystem und Nanomanipulator, intuitives Layoutdesign für eine benutzerfreundliche Bedienung.

▶ Everhart-Thornley-Detektor (ETD)

▶ In-Lens-Elektronendetektor

▶ Einziehbarer Rückstreuelektronendetektor (BSED) *Optional

▶ Rastertransmissionselektronenmikroskopie-Detektor (STEM) *Optional

▶ Probenaustausch-Schleusensystem

Reduziert effektiv die Kammerkontamination. Lineares Führungsschienendesign, Öffnen und Schließen im Schubladenstil.

▶ Fortschritte in der CIQTEK-Elektronenmikroskopie – mehr Optionen

>> Energiedispersive Spektrometrie

>> Katholumineszenz

>> EBSD

CIQTEK FIB-SEM DB550 Spezifikationen
Elektronenoptik Elektronenkanonentyp Schottky-Feldemissions-Elektronenkanone mit hoher Helligkeit
Auflösung 0,9 nm bei 15 kV; 1,6 nm bei 1 kV
Beschleunigungsspannung 0,02 kV bis 30 kV
Ionenstrahlsystem Ionenquellentyp Gallium
Auflösung 3 nm bei 30 kV
Beschleunigungsspannung 0,5 kV bis 30 kV
Probenkammer Vakuumsystem Vollautomatische Steuerung, ölfreies Vakuumsystem
Kameras

Drei Kameras

(Optische Navigation x1 + Kammermonitor x2)

Bühnentyp Motorisierter mechanischer euzentrischer 5-Achsen-Probentisch
Bühnenbereich

X=110 mm, Y=110 mm, Z=65 mm

T: -10°~+70°, R:360°

SEM-Detektoren und Erweiterungen Standard

In-Lens-Elektronendetektor

Everhart-Thornley-Detektor (ETD)

Optional

Einziehbarer Rückstreuelektronendetektor (BSED)

Einziehbarer Rastertransmissionselektronenmikroskop-Detektor (STEM)

Energiedispersives Spektrometer (EDS/EDX)

Elektronenrückstreu-Beugungsmuster (EBSD)

Nano-Manipulator

Gaseinspritzsystem

Plasmareiniger

Probenaustausch-Schleusensystem

Trackball- und Knopf-Bedienfeld

Benutzeroberfläche Sprachen Englisch
Betriebssystem Windows
Navigation Optische Navigation, Gesten-Schnellnavigation
Automatische Funktionen Automatische Helligkeit und Kontrast, Autofokus, Auto-Stigmator
Heiße Tags : Globaler Lieferant von fokussierten Ionenstrahl-Rasterelektronenmikroskopen Weltweiter Lieferant von FIB-Rasterelektronenmikroskop-Herstellern FIB SEM FE SEM Bester Preis zu verkaufen FIB SEM FE SEM PDF-Anwendungshinweise Folien SEM-Bildanalyse mit Focused Ion Beam (FIB) FIB SEM Detektor EBSD BSED STEM EDS ETD Inlens Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop mit einer fokussierten Ionenstrahlsäule Einführung in das fokussierte Ionenstrahl-REM
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Thema : FIB-SEM | DB550
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