Die Fokussierte Ionenstrahltechnologie (FIB) ist zu einem wesentlichen Bestandteil moderner technologischer Fortschritte geworden, insbesondere in der Halbleiterfertigung und Nanofabrikation. Obwohl die FIB-Technologie bekannt ist, sind ihre Geschichte und Entwicklung kaum bekannt.Fokussierter Ionenstrahl (FIB) ist ein Mikroschneidinstrument, das elektromagnetische Linsen verwendet, um einen Ionenstrahl auf einen sehr kleinen Bereich zu fokussieren.Bei der FIB werden Ionen aus einer Ionenquelle beschleunigt (die meisten FIBs verwenden Ga, einige Geräte verfügen jedoch über He- und Ne-Ionenquellen) und der Strahl dann auf die Oberfläche der Probe fokussiert.CIQTEK DB550 Fokussiertes Ionenstrahl-Rasterelektronenmikroskop (FIB-SEM) Ursprung der FIB-Technologie Seit dem 20. Jahrhundert hat sich die Nanotechnologie rasant zu einem aufstrebenden Wissenschafts- und Technologiefeld entwickelt. Sie zählt heute zu den wichtigsten Bereichen des wissenschaftlichen und technologischen Fortschritts und hat als nationale Strategie erhebliche Auswirkungen auf die wirtschaftliche und soziale Entwicklung. Nanostrukturen besitzen einzigartige Eigenschaften, da ihre Struktureinheiten annähernd die Kohärenzlänge von Elektronen und die Wellenlänge von Licht erreichen. Dies führt zu Oberflächen- und Grenzflächeneffekten, Größeneffekten und Quantengrößeneffekten. Sie weisen viele neuartige Eigenschaften in den Bereichen Elektronik, Magnetismus, Optik und Mechanik auf und bergen ein enormes Potenzial für die Anwendung in Hochleistungsgeräten. Die Entwicklung neuartiger nanoskaliger Strukturen und Geräte erfordert die Weiterentwicklung präziser, mehrdimensionaler und stabiler Mikro-Nanofabrikationstechniken. Mikro-Nanofabrikationsprozesse sind umfangreich und umfassen üblicherweise Techniken wie Ionenimplantation, Photolithografie, Ätzen und Dünnschichtabscheidung. In den letzten Jahren wurde die Focused Ion Beam (FIB)-Technologie aufgrund des Trends zur Miniaturisierung moderner Fertigungsprozesse zunehmend bei der Herstellung von Mikro- und Nanostrukturen in verschiedenen Bereichen eingesetzt und hat sich zu einer unverzichtbaren und wichtigen Technik in der Mikro- und Nanofabrikation entwickelt.Die FIB-Technologie basiert auf konventionellen Ionenstrahl- und fokussierten Elektronenstrahlsystemen und ist im Wesentlichen identisch. Im Vergleich zu Elektronenstrahlen tastet FIB die Probenoberfläche mit einem Ionenstrahl ab, der von einer Ionenquelle nach Beschleunigung und Fokussierung erzeugt wird. Da Ionen eine viel größere Masse als Elektronen besitzen, sind selbst die leichtesten Ionen, wie z. B. H+-Ionen, über 1800-mal so schwer wie Elektronen. Dadurch erreicht der Ionenstrahl nicht nur ähnliche Bildgebungs- und Belichtungsfähigkeiten wie Elektronenstrahlen, sondern nutzt auch die hohe Masse der Ionen, um Atome von festen Oberflächen abzusputtern, was ihn zu einem direkten Bearbeitungswerkzeug macht. Durch Kombination mit chemischen Gasen kann FIB auch die Ablagerung...
Mehr sehenDie Erstellung eines perfekten Bildes erfordert eine Kombination aus theoretischem Wissen und praktischer Erfahrung sowie die Abwägung vieler Faktoren. Dieser Prozess kann bei der Verwendung von Elektronenmikroskop. AStigmatisierung Astigmatismus ist eine der schwierigsten Bildkorrekturen und erfordert Übung. Das mittlere Bild in der folgenden Abbildung zeigt ein korrekt fokussiertes Bild nach der Astigmatismuskorrektur. Die linken und rechten Bilder zeigen eine unzureichende Astigmatismuskorrektur, die zu gestreckten Streifen im Bild führt. Um eine präzise Abbildung zu erreichen, muss der Querschnitt desElektronenstrahl(Sonde) sollte beim Auftreffen auf die Probe kreisförmig sein. Der Querschnitt der Sonde kann sich verformen und eine elliptische Form annehmen. Dies kann durch verschiedene Faktoren verursacht werden, wie z. B. Bearbeitungsgenauigkeit und Defekte im Magnetpolstück oder in der Kupferwicklung beim Guss der ferromagnetischen Spule. Diese Verformung wird Vignettierung genannt und kann zu Fokussierungsschwierigkeiten führen. Schwere aStigmatismus ist eine der schwierigsten Bildkorrekturen und erfordert Übung. Das mittlere Bild in der folgenden Abbildung zeigt ein korrekt fokussiertes Bild nach der Astigmatismuskorrektur. Die Bilder links und rechts zeigen eine unzureichende Astigmatismuskorrektur, die zu gestreckten Streifen im Bild führt. Diese Streifen können sich als „Streifen“ in X-Richtung im Bild manifestieren. Beim Übergang von Unter- zu Überfokussierung verschieben sich die Streifen in Y-Richtung. Bei präziser Fokussierung verschwinden die Streifen, und bei entsprechender Punktgröße kann eine korrekte Fokussierung erreicht werden. Wenn bei einer Vergrößerung von etwa 10.000-fach keine Streifen in beide Richtungen sichtbar sind, wenn das Objektiv auf Unter- oder Überfokus eingestellt ist, wird allgemein angenommen, dass es keine AStigmatisierungim Bild. EinStigmatisierung ist bei Bildern mit einer Vergrößerung unter 1000 normalerweise vernachlässigbar. Der beste Ansatz zur Korrektur der Vignettierung besteht darin, die X- und Y-Vignettierungsoffsets auf Null zu setzen (d. h. keine AStigmatisierung Korrektur) und fokussieren Sie dann das Präparat so fein wie möglich. Stellen Sie dann die X- oder Y- AStigmatisierung Steuerung (kann nicht gleichzeitig eingestellt werden), um das beste Bild zu erhalten und neu zu fokussieren. Randeffekte Randeffekte entstehen durch verstärkteElElektronenemissionan den Rändern der Probe. Die Randeffekte entstehen durch den Einfluss der Morphologie auf die Erzeugung von Sekundärelektronen und sind auch die Ursache für die vom Sekundärelektronendetektor erzeugte Bildkontur. Elektronen strömen bevorzugt zu den Rändern und Spitzen und treten dort aus, was zu einer geringeren Signalintensität in vom Detektor verdeckten Bereichen, wie z. B. Vertiefungen, führt. Rückstreuelektronen, die aus dem dem Detektor zugewandten Bereich der Probe emittiert werden, verstärken ebenfalls den topografischen Kontrast. Ei...
Mehr sehen01 2 34567891011121314151617181920 21 2223242526272829303132333435
Mehr sehenBasierend auf dem D Ual-Strahl E Lektron M Ikroskop DB550 unabhängig kontrolliert von Ciqtek , Die T Wiedergabe E Lektron M Ikroskop (TEM) Die Herstellung von 28 -nm -Prozessknoten -Chips nanoskalige Probenproben wurde erfolgreich erreicht. Die TEM -Überprüfung kann klar die wichtigsten Dimensionen jeder Struktur analysieren und eine inländische Präzisionserkennungslösung für die Analyse des Halbleiterprozessdefekts und die Verbesserung der Ertragsverbesserung liefern.
Mehr sehenMetallmaterialien spielen eine unverzichtbare Rolle in der modernen Industrie und ihre Leistung wirkt sich direkt auf die Produktqualität und Lebensdauer der Produkte aus Mit der kontinuierlichen Entwicklung der Materialwissenschaft wurden höhere Anforderungen für die mikroskopische Struktur und Zusammensetzungsanalyse von Metallmaterialien vorgeschlagen Als erweiterte Charakterisierungsinstrument,Rasterelektronenmikroskop(SEM) Kann hochauflösende Oberflächenmorphologieinformationen liefern und sich mit spektroskopischen Analysetechniken für die Bestimmung der Elementierungszusammensetzungen kombinieren, was es zu einem wichtigen Werkzeug für die Forschung von Metallmaterial macht Dieser Artikel zielt darauf ab, die Anwendung der SEM -Technologie bei der Charakterisierung von Metallmaterialien zu erörtern und Referenzen und Leitlinien für die damit verbundene Forschung zu liefern Grundprinzipien des Elektronenmikroskops (SEM)Das Arbeitsprinzip eines Rasterelektronenmikroskops basiert auf der Wechselwirkung zwischen einem Elektronenstrahl und der Probenoberfläche Wenn ein hochenergischer Elektronenstrahl die Probenoberfläche scannt, werden verschiedene Signale erzeugt, einschließlich sekundärer Elektronen, zurückgestrappten Elektronen, charakteristischen Röntgenstrahlen usw Diese Signale werden durch entsprechende Detektoren erfasst und verarbeitet, um Oberflächenmorphologiebilder oder Elementarverteilungskarten des Probens zu bilden SEM -Probenvorbereitung für MetallmaterialienMikrostrukturanalyse: Ciqtek EM liefert hochauflösende Bilder, mit denen Forscher beobachtet werden können und analysieren die Mikrostruktur von Metallen und Verbundwerkstoffen wie Korngröße, Form, Phase Verteilung und Defekte (z B Risse und Einschlüsse) Dies ist entscheidend, um die Beziehung zu verstehen zwischen Materialeigenschaften und Verarbeitungstechniken α -β -TitanlegierungDie wärmebedigte Zone ist die am stärksten gefährdete Fläche in einer geschweißten Verbindung Untersuchung der Veränderungen in der Mikrostruktur und Eigenschaften des geschweißten Bereichs sind von großer Bedeutung für die Lösung von Schweißproblemen und die Verbesserung der Schweißqualität Kompositionsanalyse:Ausgestattet mit einem EDS oder einem WDS -System, Ciqtek Sem ermöglicht qualitativ und Quantitative Elementarzusammensetzungsanalyse Dies ist sehr wichtig für die Untersuchung der Verteilung Muster von Legierungselementen und ihre Auswirkungen auf die Materialeigenschaften Elementarleitungsanalyse durch EDSDurch Kombination von SEM mit EDS -Analyse, die Kompositionsänderungen und Elementverteilung von Verunreinigungen inDer Schweißbereich kann beobachtet werden Fehleranalyse: Nach Ausfällen wie Frakturen, Korrosion oder anderen Schäden in Metallen treten Schäden auf Ciqtek SEM ist ein wichtiges Instrument zur Analyse des Mechanismusversagens Durch Prüfung Frakturflächen, Korrosionsprodukte usw Die Grundursache für den Fehler kann identifiziert werden, bereitgestellt Erkenntnisse zur Verb...
Mehr sehenDefinition und Eigenschaften von Kristallen: Kristalle sind Materialien, die durch die reguläre und regelmäßige Anordnung von Partikeln (Molekülen, Atomen, Ionen) im dreidimensionalen Raum gebildet werden. Kristalle können in Einzelkristalle und Polykristalle eingeteilt werden. Die Bildung von Kristallen beinhaltet den Prozess der Partikel, die sich in einem regelmäßigen Muster anordnen. Die regelmäßige Anordnung von Partikeln führt zu einem strukturierten Gerät im Kristall, wodurch Kristalle Feststoffe mit einer bestimmten Gitterstruktur hergestellt werden. Kristalle weisen regelmäßige geometrische Formen auf, haben feste Schmelzpunkte und zeigen anisotrope Eigenschaften wie mechanische Festigkeit, thermische Leitfähigkeit und thermische Expansion. Kristalle sind in der Natur reichlich und die meisten festen Materialien in der Natur sind Kristalle. Gase, Flüssigkeiten und amorphe Materialien können sich auch unter geeigneten Bedingungen in Kristalle verwandeln. Die Röntgenbeugung wird üblicherweise verwendet, um festzustellen, ob ein Material ein Kristall ist oder nicht. Schmelzpunkt und Verteilung von Kristallen: Die regelmäßige Anordnung von Atomen in Kristallen trägt zu ihren festen Schmelz- und Verfestigungspunkten bei, was ein Unterscheidungsmerkmal von Kristallen im Vergleich zu amorphen Materialien darstellt. Kristalle sind in der Natur in der Morphologie vielfältig, von häufigen Substanzen wie Salz und Zucker, Mineralien, die die Erdkruste bilden, bis hin zu Metallen und Halbleitermaterialien. Elektronen M icroscopes und EBSD Techniken können dazu beitragen, die Stabilität von Kristallen unter verschiedenen Bedingungen zu verstehen und wissenschaftliche Erkenntnisse für die Materialauswahl und -anwendungen zu liefern. Einerkristalle und Polykristalle: Ein einzelner Kristall besteht aus einem kontinuierlichen Kristallgitter, in dem die Atomanordnung im gesamten Kristall konsistent bleibt, was zu den anisotropen Eigenschaften des Kristalls führt. Einzelkristalle sind ideal für bestimmte Anwendungen, wie z.
Mehr sehenKürzlich wurde in einer von Sun Lei der School of Science der Westlake University unter der Leitung des Forschungsteams unter der Leitung des Forschungsteams unter der Leitung des Forschungsteams von Sun Lei von der School of Science der Westlake University "Phononische Modulation von Spin-Lattice-Relaxation in molekularen Qubit-Rahmenbedingungen veröffentlicht. Abbildung 1: Wasserstoffbrückenbindungsnetzwerk und Phononenmodulation der Spin-Gitter-Relaxation in MQFS Das Team verwendete ciqtek gepulste E Lectron p aramagnetische r Esonanz (ePr) s Pektroskopie x-Band EPR100 und W-Band EPR-W900 , um zwei molekulare Qubit-Gerüstmaterialien zu charakterisieren, die semi-Quinon-Radikale enthalten. Abbildung 2: Spin -Dynamische Eigenschaften von mghotp und tihotp Sie stellten fest, dass Wasserstoffbindungsnetzwerke in diesen Materialien zu einer verminderten strukturellen Steifigkeit führten, was zu optischen Sub-Terahertz-Phononen, verringerte Debye-Temperatur, erhöhte akustische Phononendichte von Zuständen und förderte die Relaxation des Spingitters. Die Deuteriumsubstitution im Wasserstoffbrückenbindungsnetzwerk senkte die optischen Phononenfrequenzen weiter und verkürzte die Spin-Gitter-Relaxationszeit. Abbildung 3: Schwingungsspektren von mghotp und tihotp Auf der Grundlage dieser Ergebnisse schlugen die Forscher ein molekulares Qubit-Framework-Design vor, um die Phonon-Dispersion genau zu kontrollieren, die Relaxation des Spingitters zu unterdrücken und die Qubit-Leistung zu verbessern. Diese Leistung bietet neue Erkenntnisse und Möglichkeiten zur Festkörperintegration und Quanteninformationsanwendungen von molekularen Elektronen-Spin-Qubits. Abbildung 4: Spin -Gitter -Relaxationsmechanismus von mghotp und tihotp Abbildung 5: Einfluss der Deuteriumsubstitution im Wasserstoffbrückenbindungsnetz auf niederfrequente optische Phononen und Spin-Gitter-Relaxation in mgOTP Zusammenfassend ergab diese Studie, dass die strukturelle Starrheit von molekularen Qubit-Gerüstmaterialien verwendet werden kann, um die Phononendispersion zu kontrollieren, die Relaxation des Spin-Gitters zu unterdrücken und die Quantenkohärenz und den anwendbaren Temperaturbereich zu verbessern. Die Forschungsergebnisse können möglicherweise die Festkörperintegration und die molekulare Quanteninformationstechnologie von molekularen Elektronenspin-Qubits vorantreiben.
Mehr sehenWas ist der RKristallisations-PProzess? Rekristallisation ist ein wichtiges Phänomen in der Materialwissenschaft, bei dem es um die mikrostrukturelle Wiederherstellung von Material nach plastischer Verformung geht. Dieser Prozess ist entscheidend für das Verständnis von Materialeigenschaften und die Optimierung von Verarbeitungstechniken. Mechanismen und KlassifikationKlassifizierung der RKristallisation Rekristallisationsprozesse werden typischerweise durch Wärmebehandlung oder thermische Verformung ausgelöst und beinhalten die natürliche Erholung von Materialien nach der Entstehung von Defekten während der Verformung. Defekte wie Versetzungen und Korngrenzen fördern die Reduzierung der systemfreien Energie bei hohen Temperaturen durch Umlagerung und Vernichtung von Versetzungen, was zur Bildung neuer Kornstrukturen führt. Die Rekristallisation kann in statische Rekristallisation (SRX) und dynamische Rekristallisation (DRX) unterteilt werden. SRX tritt bei Glühprozessen auf, während DRX bei thermischer Verformung auftritt. Darüber hinaus kann die Rekristallisation anhand spezifischer Mechanismen weiter unterteilt werden, wie z. B. kontinuierliche dynamische Rekristallisation (CDRX), diskontinuierliche dynamische Rekristallisation (DDRX), geometrische dynamische Rekristallisation (GDRX) und metadynamische Rekristallisation (MDRX). Diese Klassifizierungen sind nicht streng definiert und Forscher können unterschiedliche Interpretationen haben. Faktoren, die die Rekristallisation beeinflussen Der Rekristallisationsprozess wird von verschiedenen Faktoren beeinflusst, darunter der Stapelfehlerenergie (γSFE), der anfänglichen Korngröße, den thermischen Verarbeitungsbedingungen und den Partikeln der zweiten Phase. Die Größe der Stapelfehlerenergie bestimmt den Versetzungsabbau und die Beweglichkeit und beeinflusst dadurch die Rekristallisationsrate. Kleinere Anfangskorngrößen und geeignete thermische Verarbeitungsbedingungen, wie hohe Temperaturen und niedrige Umformgeschwindigkeiten, erleichtern die Rekristallisation. Partikel der zweiten Phase können den Rekristallisationsprozess erheblich beeinflussen, indem sie die Bewegung der Korngrenzen behindern. Anwendung bildgebender Verfahren EBSD und TEM sind zwei klassische Bildgebungstechniken, die in Rekristallisationsstudien verwendet werden. EBSD analysiert die Verteilung und den Prozentsatz rekristallisierter Körner mithilfe der DefRex-Karte, obwohl Auflösungsbeschränkungen zu Genauigkeitsproblemen führen können. TEM hingegen ermöglicht eine direkte Beobachtung materieller Unterstrukturen, wie z. B. Versetzungen, und bietet so eine intuitivere Perspektive für Rekristallisationsstudien. Anwendung von EBSD in Rekristallisationsstudien EBSD wird verwendet, um durch Beobachtung der Korngrenzen zu bestimmen, ob Körner einer Rekristallisation unterzogen wurden. Beispielsweise werden in den DefRex-Karten geschmiedeter TNM-Legierungen Körner, die von Grenzen mit großem Winkel umgeben sind, typischerweise als r...
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