Rasterelektronenmikroskop-Detektoren

Das Rasterelektronenmikroskop (REM) ist ein leistungsstarkes Werkzeug für verschiedene Anwendungen in den Materialwissenschaften, Biowissenschaften und anderen Bereichen. Es wurden verschiedene Arten von Detektoren entwickelt, um mehr Informationen zu erhalten und die Leistung des REM zu verbessern. Im Folgenden sind einige gängige Arten von REM-Detektoren aufgeführt :

Rückstreuelektronendetektor (BSE): BSE-Detektoren werden verwendet, um Elektronen zu erkennen, die von Atomkernen und Elementen mit hoher Ordnungszahl innerhalb einer Substanz gestreut werden. BSE-Detektoren liefern kontrastreiche Bilder, die zur Zusammensetzungsanalyse von Materialien und zur Charakterisierung von Mikrostrukturen verwendet werden können.

Sekundärelektronendetektor (SE): Der SE-Detektor dient zum Nachweis von Sekundärelektronen auf der Oberfläche eines Materials, das durch einen Rasterelektronenstrahl angeregt wird. Da die Oberflächenmorphologie und die Materialzusammensetzung die Sekundärelektronen beeinflussen, liefert der SE-Detektor ein hochauflösendes Bild der Oberflächentopographie.

Transmissionselektronendetektor (TED): TED-Detektoren werden verwendet, um Transmissionselektronen zu detektieren, die durch eine dünne Materialschicht hindurchgehen und auf den Detektor fokussiert werden. TED-Detektoren eignen sich für hochauflösende Zusammensetzungs- und Strukturanalysen von Materialien, z. B. die Charakterisierung von Nanopartikeln auf atomarer Ebene.

Energiedispersive Röntgenspektroskopie (EDS): EDS-Detektoren werden zur Analyse der Elementzusammensetzung von Materialien verwendet. Wenn ein Rasterelektronenstrahl mit einer Probe interagiert, werden charakteristische Röntgenstrahlen erzeugt, und der EDS-Detektor sammelt und misst das Energiespektrum dieser Röntgenstrahlen, um die chemische Zusammensetzung und Elementverteilung des Materials zu bestimmen.

Retarding Field Detector (RFD): Der RFD-Detektor wird verwendet, um die Ladung zu messen, die von Elektronen getragen wird, die auf der Oberfläche der Probe erzeugt werden. Dieser Detektortyp ist sehr nützlich, um die elektrische Leitfähigkeit und die Oberflächenladungseigenschaften von Materialien zu untersuchen.

Dies sind nur einige der gängigen SEM-Detektoren. Tatsächlich gibt es noch viele weitere Detektortypen mit jeweils unterschiedlichen Vorteilen und Anwendungen. Die Auswahl des geeigneten Detektors hängt von den Zielen der Untersuchung und den zu gewinnenden Informationen ab.

Das von CIQTEK selbst entwickelte SEM bietet eine große Auswahl an Detektoren wieBSED, STEM, EDS, EDX, EBSD, In-lens, ETDusw.