Nanoskalige Präzisionsprobenahme mit DualBeam FIB-SEM: Anwendungen der Nanomanipulation in der Halbleiter- und biomedizinischen Forschung

Warum präzise Probenahme im Nanobereich wichtig ist

In Spitzenbereichen wie Materialwissenschaften, Biowissenschaften und der Halbleiterforschung ist die präzise Probenentnahme im Nanomaßstab oft Voraussetzung für aussagekräftige Ergebnisse. Ob es darum geht, eine bestimmte Fehlerstelle aus einem Halbleiterchip zu extrahieren oder Organellen aus einer einzelnen Zelle zu isolieren – herkömmliche Probenentnahmemethoden greifen oft zu kurz, da ihnen die für hochempfindliche Analysen erforderliche Auflösung, Genauigkeit und Umgebungskontrolle fehlt.

Hier ist fortgeschritten FIB-SEM (Fokussierte Ionenstrahl-Rasterelektronenmikroskopie) Systeme kommen ins Spiel, insbesondere solche, die mit einem integrierter Nanomanipulator . Unter diesen CIQTEK Doppelstrahl-REM DB550 zeichnet sich durch hochauflösende Bildgebung, Manipulationsgenauigkeit im Pikometerbereich und nahtlose Integration von Werkzeugen zur Probenvorbereitung, zum Herausheben und zur Analyse aus.

Wie der CIQTEK DB550 die Handhabung von Nanoproben verbessert

1. Hochauflösende SEM-Bildgebung zur Zielortidentifizierung

Die Feldemissionselektronensäule des CIQTEK FIB-SEM DB550 liefert eine außergewöhnliche Bildschärfe und erreicht eine Auflösung von bis zu 0,9 nm bei 15 kV – ideal für die Darstellung komplexer Mikrostrukturen. Diese hochauflösende SEM-Funktion ermöglicht es Forschern, komplexe Oberflächen visuell zu navigieren und Bereiche von Interesse präzise zu lokalisieren, seien es Nanopartikel in einem Verbundwerkstoff, Organellen in Zellen oder Strukturdefekte in fortgeschrittenen Knotenpunkten. Halbleiterfehleranalyse .

2. Integrierter Nanomanipulator für Präzision im Pikometerbereich

Der im DB550 integrierte Nanomanipulator bietet 3D-Steuerung mit einer Positioniergenauigkeit im Picometerbereich und ist somit ideal für ortsspezifische Probenvorbereitung Forscher können damit mikro- und nanogroße Strukturen mit bemerkenswerter Kontrolle angreifen, greifen und herausheben. So kann der Nanomanipulator beispielsweise gezielt einen bestimmten Nanodraht aus einem dichten Netzwerk extrahieren oder einen Membranbereich in biologischen Proben isolieren – und das alles bei minimaler mechanischer Belastung.

Diese Funktion ist besonders wertvoll für Arbeitsabläufe wie:

• TEM-Probenentnahme aus Halbleiterbauelementen
• Nanosondierung für elektrische Tests
• Probenisolierung für die Einzelzell-Omics

3. Maximierung der Probenintegrität während der Übertragung

Eine der Herausforderungen bei der Probenentnahme im Nanomaßstab besteht darin, die ursprüngliche Struktur und Chemie der Probe zu erhalten. Der DB550 bewältigt dies durch:

• Dynamische Kraftkontrolle, die Verformungen oder Brüche während der Handhabung verhindert
• Vakuum in Reinraumqualität und Antikontaminationsprotokolle schützen die Probe vor Umwelteinflüssen

Dies gewährleistet eine Nanoextraktion mit geringer Beschädigung, die für die nachfolgende EDS- (energiedispersive Röntgenspektroskopie), EBSD- oder TEM-Analyse von entscheidender Bedeutung ist.

4. Nahtloser Workflow mit Dual-Beam-Funktionalität

Die Synergie des fokussierten Ionenstrahls und des Elektronenstrahls im DB550 ermöglicht eine vollständige Probenahme- und Analysepipeline:

• FIB-Fräsen kann die Probenstelle vorbearbeiten und Oberflächenverunreinigungen entfernen oder Gräben schneiden
• Nanomanipulator hebt dann den genauen Abschnitt heraus
• In-situ-SEM- oder EDS-Analyse kann sofort zur Echtzeitüberprüfung durchgeführt werden

Das One-Stop-Plattform zur Manipulation im Nanomaßstab steigert die Effizienz erheblich und erhält gleichzeitig die Datentreue.

Warum CIQTEK DB550 ideal für fortgeschrittene Nanomanipulation ist

Technologieunabhängigkeit: Die proprietären Kerntechnologien von CIQTEK bieten eine Leistung auf Augenhöhe mit weltweit führenden Marken, zu einem wettbewerbsfähigeren Preis.

Workflow-Integration: Vom fokussierten Ionenstrahlfräsen bis zum Herausheben der Probe unterstützt der DB550 die Manipulation und Bildgebung vor Ort und reduziert so den Bedarf an externen Systemen.

Benutzerzentriertes Design: Vollständig lokalisierte Software, intuitive Navigation und Automatisierungsoptionen verbessern die Zugänglichkeit sowohl für neue als auch für erfahrene Benutzer

Ob Sie ortsspezifische Lamellen für TEM vorbereiten, Merkmale aus biologischem Gewebe isolieren oder komplexe Nanomanipulationen in der Elektronenmikroskopie durchführen – der DB550 bietet eine leistungsstarke und vielseitige Lösung. Er ist nicht nur ein Werkzeug. Er ist ein Ökosystem für die Probenentnahme im Nanomaßstab, das Ihre Forschung auf dem neuesten Stand hält.

Entdecken Sie, wie die CIQTEK DB550 Dual Beam FIB-SEM kann Ihre Nanoengineering-Workflows optimieren: vom präzisen Herausheben bis zur sauberen Probenentnahme und Echtzeitanalyse.