CIQTEK bringt 12-Zoll-Wafer-Inspektionslösung für zerstörungsfreie, hochauflösende Vollflächenanalyse auf den Markt

Ga + Fokussiertes Ionenstrahl-Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop Der CIQTEK DB550 Fokussiertes Ionenstrahl-Rasterelektronenmikroskop (FIB-SEM) verfügt über eine fokussierte Ionenstrahlsäule für die Nanoanalyse und Probenvorbereitung. Es nutzt die „Supertunnel“-Elektronenoptiktechnologie, geringe Aberration und ein nichtmagnetisches Objektivdesign und verfügt über die Funktion „Niedrigspannung, hohe Auflösung“, um seine analytischen Fähigkeiten im Nanomaßstab sicherzustellen. Die Ionensäulen ermöglichen eine Ga + Flüssigmetallionenquelle mit hochstabilen und hochwertigen Ionenstrahlen zur Gewährleistung der Nanofabrikationsfähigkeit. Der DB550 ist eine All-in-One-Workstation für Nanoanalyse und -herstellung mit integriertem Nanomanipulator, Gasinjektionssystem und benutzerfreundlicher GUI-Software.

Ultrahochauflösende Feldemissions-Rasterelektronenmikroskopie (FESEM) Der CIQTEK SEM5000X ist ein ultrahochauflösendes FESEM mit optimiertem Elektronenoptiksäulendesign, das die Gesamtaberrationen um 30 % reduziert und eine ultrahohe Auflösung von 0,6 nm bei 15 kV und 1,0 nm bei 1 kV erreicht. Seine hohe Auflösung und Stabilität machen es vorteilhaft für die Forschung an fortschrittlichen nanostrukturellen Materialien sowie für die Entwicklung und Herstellung hochtechnologischer Halbleiter-IC-Chips.

Ultrahohe Auflösung Wolframfilament-Rasterelektronenmikroskop Der CIQTEK SEM3300 Rasterelektronenmikroskop (REM) Das System nutzt Technologien wie Supertunnel-Elektronenoptik, Inlens-Elektronendetektoren und elektrostatische und elektromagnetische Verbundobjektive. Durch die Anwendung dieser Technologien auf das Wolframfilament-Mikroskop wird die langjährige Auflösungsgrenze solcher Rasterelektronenmikroskope überschritten. Dadurch können mit dem Wolframfilament-REM Niederspannungsanalysen durchgeführt werden, die bisher nur mit Feldemissions-REMs möglich waren.